当有多套净化空调系统同时运行和较大型的洁净厂房的净化空调系统， 常驻采用新风集中进行净化处理，再分别供给各套净化空调系统的方式。目前常用的是新风三级过滤，即新风经粗效、中效、亚高效过滤处理。有些地方新 ...

设有洁净室的厂房内，为满足生产工艺和空气洁净度等级要求，洁净区、人员净化、物料净化和其它辅助用房一般分区布置，通常可分为洁净生产区、洁净室辅助用房 （包括人员净化用室、 物料净化用室和部分生活用室等） ...

下图 4-2为隧道式洁净室送风方式， 这种送风方式一般把洁净室划分为生产核心区、维护区，生产核心区设在单向流送风区内，要求高洁净度和严格的温、湿度控制；维护区和格栅地板下回风静压箱内洁净度要求较低，设置生 ...

　ISO系列 　　（1）ISO14644-1 空气洁净度等级划分　　 （2）ISO14644-2 为认证ISO14644-1的 连续的相符性的测试和监测技术要求 　　（3）ISO14644-3 测试方法 　　（4）ISO14644-4 设计建造启动 　　（5 ...

CSS 即 Cl ean Space System方式是通过空气处理器将循环空气进行温、湿度处理后以风管直接分送到各 H EPA 过滤器，这种方式不设送风静压箱，用于过滤器不多的系统。这种方式当洁净度要求变化时，工程变动也较大，送 ...

下图 4-5 为微环境+开放式洁净厂房示意图，这种方式是为了确保生产环境日益要求严格的半导体芯片生产的关键工序或设备的微环境控制在高洁净度等级 （如0. 05μ m -0. 1μ m ，ISO 1级） ，而其周围的开放式大面积洁 ...

（1）洁净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设备，在其排出口以下部位设水封装置。排水系统设有完善的透气装置。 （2）洁净室内的地漏等排水设施的设置情况如下： 空气洁净度严于 6级的洁净室内不设地漏 ...