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微环境+开放式洁净厂房

2016-06-13
下图 4-5 为微环境+开放式洁净厂房示意图，这种方式是为了确保生产环境日益要求严格的半导体芯片生产的关键工序或设备的微环境控制在高洁净度等级 （如0. 05μ m -0. 1μ m ，ISO 1级） ，而其周围的开放式大面积洁净环境仅保持在相对较差的洁净度（如 ISO 5 级或 ISO 6 级） ，微环境内控制洁净度严格的单向流洁净环境，而开放式洁净室为单向流或混合流洁净室。这种方式的能量消耗较少，工艺布置灵活性好，建设投资和运行费用都可以降低，能达到很严格的空气洁净度等级要求，有利于洁净室的改造、扩产等。 
    
      在净化空调系统中，考虑到系统的阻力的变化将会影响其风量等的变化，故常采用风机变频调速装置作恒定风量或静压控制， 通常由高效过滤器的压差变化控制变频装置。使用变频机组后有明显的节能效果。
      净化空调系统的电加热器、电加湿器应采取安全保护措施。寒冷地区的新风系统应设置防冻保护措施。  
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