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国际标准规范

2016-06-13
　
ISO系列
　　（1）ISO14644-1 空气洁净度等级划分[3]　　
 
       （2）ISO14644-2 为认证ISO14644-1的 连续的相符性的测试和监测技术要求
　　（3）ISO14644-3 测试方法
　　（4）ISO14644-4 设计建造启动
　　（5）ISO14644-5 运行(Operations)
　　（6）ISO14644-6 术语和定义
　　（7）ISO14644-7 分离装置(洁净空气罩、手套箱、分离器和微循环设备
　　（8）ISO14644-8 分子污染
　　（9）ISO14644-9 洁净化学品（液体）
　　IEST系列
　　[4]
　　洁净空气：
　　RP-CC001高效与超高效过滤器
　　RP-CC002单向流装置
　　RP-CC006洁净室测试RP-CC007超高效过滤器测试
　　RP-CC008气体吸收装置
　　RP-CC016洁净室非挥发性残留物质的沉积率
　　RP-CC021高效与超高效过滤器过滤器介质测试
　　RP-CC034高效与超高效过滤器过滤器检漏
　　洁净室与洁净环境：
　　RP-CC006洁净室测试
　　RP-CC012洁净室设计要点
　　RP-CC016洁净室非挥发性残留物质的沉积率
　　RP-CC018洁净室管理运行与检测程序
　　RP-CC022洁净室与受控环境中的静电
　　RP-CC023洁净室中的微生物
　　RP-CC024微电子设备震动测量与说明
　　RP-CC026洁净室运行
　　RP-CC027洁净室与受控环境中人员与行为
　　RP-CC034高效与超高效过滤器过滤器检漏
　　特殊应用：
　　RP-CC029使用喷漆器要考虑的污染控制因素
　　运行保障：
　　RP-CC003净室与受控环境的服装系统要点
　　RP-CC004净室与受控环境用抹布材料评估
　　RP-CC005净室与受控环境用手套和指套
　　RP-CC020洁净室文件材料与格式
　　设备：
　　RP-CC002单向流装置
　　RP-CC013设备校准与检验程序
　　RP-CC015洁净室生产设备与辅助设备
　　RP-CC034高效与超高效过滤器过滤器检漏
　　术语：
　　RP-CC011污染控制领域术语和定义
　　文献：
　　RP-CC009污染控制领域的标准、准则、方法与相关文件概览

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