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> 隧道式洁净室送风方式
隧道式洁净室送风方式
2016-06-13
下图 4-2为隧道式
洁净室
送风方式, 这种送风方式一般把
洁净室
划分为生产核心区、维护区,生产核心区设在单向流送风区内,要求高洁净度和严格的温、湿度控制;维护区和格栅地板下回风静压箱内洁净度要求较低,设置生产辅助设备或无洁净要求的生产设备的尾部和配管配线等。生产区为送风区,维护区为回风区,构成空气循环系统,多台净化空气循环机组设在送风静压箱顶层上;新风处理机组集中设备。由于隧道式送风一般由多台循环空气处理机组组成,所以其中一台循环机组出现故障不会影响其他区域的生产环境洁净度, 并且各个循环系统可根据产品生产需要进行分区调整控制。
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