洁净室(Clean Room)，亦称无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制，没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间 ...

无尘室空气洁净度的测试内容及方法
一、无尘室的空气洁净度，应进行下列测试：
（一）动态、静态测试
动态测试：无尘室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下边行测试。 ...

C.5.1 气流流型的检测包括气流目测和气流流向的测试。气流目测可采用示踪线法、发烟（雾）法和采用图像处理技术等方法。气流流向的测试一般采用示踪线法、发烟（雾）法和三维法测量气流速度等方法。
C.5.2 采用示踪 ...

温度测试是确认空气处理设施的温度控制能力。

C.7.1 相对湿度测试是确认空气处理设施的湿度控制能力。湿度测试时无尘室（区）状态见C.6.3。
C.7.2 湿度测试可采用通风干湿球温度计、数字式温湿度计、电容式湿度计、毛发式湿度仪器。

C.7.3 相对湿度测试的测点， ...

C.8.1 本测试用于确认有无被污染的空气从相邻无尘车间（区）或非无尘车间（区）通过吊顶、隔墙等表面或门、窗渗漏入无尘车间（区）。一般适用于1级至5级的无尘车间（区）进行测试。采用光度计法和粒子计数器法进行测 ...

B.13.1 对洁净室（区）内粒径大于5μm的宏粒子的测试，可在三种占用状态中的任一种状态下进行测试。
B.13.2 宏粒子的测试，宜采用过滤法、粒子计数器计数法等进行测量，其采样点、采样流量可按C.1的要求进行。具体方 ...