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2 洁净厂房竣工验收时，应认真检查竣工验收的资料，一般包括下列文件及记录：

1） 图纸会审记录、设计变更通知书和竣工图；

2） 各分部工程的主要设备、材料和仪器仪表的出厂合格证明及进场检验报告；

3） 各分部工程的单机设备、系统安装及检验记录；

4） 各分部单机试运转记录；

5） 各分部工程、系统无负荷试运转与调试记录；

6 ）各类管线试验、检查记录；

7） 各分部工程的安全设施的检验和调试记录；

8） 各分部工程的质量验收记录。

3 洁净厂房内各分部工程的观感质量核查，应符合本规范5～13章的相关规定。

检测方法：观察检查、尺量。

检测数量：各分部按系统抽查20%，且不得少于1个系统；各类设备、部件、仪表和阀门等，按数量抽查20%，且不得少于1台或10件。

4 各分部工程的各类设备单机试车的核查，应符合本规范5～12章的相关规定。

检测方法：按5～12章的相关方法。

检测数量：按数量每种单机抽查20%，且不得少于1台。

5 各分部工程的各类系统的单机试车核查合格后，应进行无生产负荷的稳定运行核查，并应符合本规范5~12章的相关规定。

检测方法：按5~12章的相关方法。

检测数量：每一分部按系统抽查20%，且不得少于1个系统。

6 洁净厂房竣工验收的主要测试内容如下：

1） 气流目测；

2 ）风速和风量测试；

3） 空气过滤器的检漏；

4） 洁净室（区）的密闭性测试；

5） 房间之间的静压差测试；

6 ）空气洁净度等级；

7） 自净时间；

8 ）温度、相对湿度；

9 ）照度值；

10） 噪声级；

11） 其他建设方需要进行的检测项目。

7 洁净厂房竣工验收后，应由施工方编写竣工验收报告，其主要内容除14.3.2外还有：

1） 观感核查记录；

2） 分项测试记录及分析意见（包括测试点位置、座标等）；

3） 测试仪器的有效校验证书；

4） 结论。