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1） 安装生产工艺设备前，洁净厂房净化空调系统连续正常运行不少于48小时、照明系统已正常工作，并且现场有便捷电源供应；

2 ）大型、特殊要求生产设备，可按设计要求在净化空调系统安装前就位（参照附录A）；

3）洁净室（包括风淋室）已启用，并有专人按洁净厂房管理制度进行管理；

4） 作业人员、技术人员、管理人员应经过洁净施工培训，遵守洁净室的相关规定。

2 洁净室（区）内生产设备安装施工用辅助材料应滿足下列要求：

1 ）应无尘、无锈、无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料；

2） 应以洁净、无尘的板材、薄膜等材料保护洁净室（区）的建筑装饰表面；

3 ）设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作，如无要求时一般可用不锈钢板或塑料板；

4） 制作独立基础和地板加固用的碳钢型材必须经过热镀锌处理；

5 ）用于嵌缝的弹性密封材料必须有注明成分、品种、出厂日期、储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书；

3 洁净室（区）使用的机具不得搬至非洁净室（区）使用，非洁净室（区）使用机具不得搬至洁净室（区）使用，洁净区使用机具应符合下列要求：

1） 机具外露部分应不产尘或采取防止尘埃污染环境的措施；

2 ）常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理，达到无油、无垢、无尘、无锈的要求，经检查合格贴上“洁净”或“洁净区专用”标识，方可搬入。

4 设备特殊基础应符合下列规定:

1 ）洁净室地面为活动地板时，基础宜设置在下技术夹层地坪上或砼多孔板上；

2 ）钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作，外露表面应平整、光滑；

3） 安装基础所需拆除的活动地板，经手持电锯切割后的钢结构应予加固，其承载能力不应低于原承载能力。

5 墙板、吊顶和活动地板开洞应符合下列规定:

1） 开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板、吊顶板表面，活动地板开口后不能即时安装基础时应设安全护栏并设危险标识；

2 ）生产设备安装后，洞口四周间隙应进行密封处理，并应作到：设备与密封组件为柔性接触；密封组件与壁板的连接应紧密、牢固；工作间一侧的密封面应平整、光滑。

6 拆除包装应符合下列规定:

1 ）设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行，并不得破坏内包装；

2） 设备的内包装应在气闸室前拆除，拆除前应先用吸尘器、洁净布清除内包装外表面的尘粒。

7 生产设备从搬入平台经搬入口、气闸室至洁净室（区）的搬运应符合下列规定:

1 ）对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时，可保护性拆除门或部分洁净室隔断，待设备搬入后再恢复原到有状态；

2） 沿搬运路线的门框、墙角等处应设保护措施；

3 ）在活动地板上搬运设备时，应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板；  

4 ）当搬运重量超过活动地板的承载能力时，应根据现场实际情况采取加固措施。并采用不产尘的材料。

8 洁净室（区）内搬运生产工艺设备，宜采用搬运车或汽垫搬运装置。搬运时应控制其行进速度不得大于1.0m/s；

9 设备就位安装应符合下列规定:

1） 在自流坪地面安装设备时，应有地面保护措施；

2） 在活动地板上吊装设备时，应核对活动地板的允许荷载，当允许荷载不能满足起吊荷重时，应对活动地板进行加固；

3） 设备就位安装需开孔时，应采用真空吸尘头或吸尘器吸除所产生的尘粒直至最终吸尽孔内积存的尘粒；