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洁净室测试方法




B．1 风量或风速的检测 B.1.1 对于单向流洁净室，采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量。 离高效过滤器0.3m，垂直于气流的截面作为采样测试截面，截面上测点间距不宜大 于0.6m，测点数不应少于5 个，以所有测点风速读数的算术平均值作为平均风速。 
B.1.2 对于非单向流洁净室，采用风口法或风管法确定送风量，做法如下: 
1 风口法是在安装有高效过滤器的风口处，根据风口形状连接辅助风管进行测量。即用镀锌钢板或其他不产尘材料做成与风口形状及内截面相同，长度等于2 倍风口长边长的直管段，连接于风口外部。在辅助风管出口平面上，按最少测点数不少于6 点均匀布置，使用热球式风速仪测定各测点之风速。然后，以求取的风口截 面平均风速乘以风口净截面积求取测定风量。 
2 对于风口上风侧有较长的支管段，且已经或可以钻孔时，可以用风管法确定风量。测量断面应位于大于或等于局部阻力部件前3 倍管径或长边长，局部阻力部件后5 倍管径或长边长的部位。对于矩形风管，是将测定截面分割成若干个相等的小截面。每个小截面尽可能接近正方形，边长不应大于200mm，测点应位于小截面中心，但整个截面上的测点不宜少于3 个。对于圆形风管，应根据管径大小，将截面划分成若干个面积相同的同心圆环，每个圆环测4 点。根据管径确定圆环数量，不宜少于3 个。

B．2 静压差的检测

B.2.1 静压差的测定应在所有的门关闭的条件下，由高压向低压，由平面布置上与外界最远的里间房间开始，依次向外测定。

B.2.2 采用的微差压力计，其灵敏度不应低于2.0Pa。 

B.2.3 有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室，其洞口处应有合理的气流流向。洞口的平均风速大于等于0.2m/s时，可用热球风速仪检测。

B．3 空气过滤器泄漏测试 

B.3.1 高效过滤器的检漏，应使用采样速率大于1L/min的光学粒子计数器。

D类高效过滤器宜使用激光粒子计数器或凝结核计数器。

B.3.2 采用粒子计数器检漏高效过滤器，其上风侧应引入均匀浓度的大气尘或含其他气溶胶尘的空气。对大于或等于0.5μm尘粒，浓度应大于或等于3.5×105pc/m 3；或对大于或等于0.1μm尘粒，浓度应大于或等于3.5×107pc/m3；若检测D类高效过滤器，对大于或等于0.1μm尘粒，浓度应大于或等于3.5×109pc/m3。

B.3.3 高效过滤器的检测采用扫描法，即在过滤器下风侧用粒子计数器的等动力采样头，放在距离被检部位表面20～30mm处，以5～20mm/s的速度，对过滤器的表面，边框和封头胶处进行移动扫描检查。

B.3.4 泄漏率的检测应在接近设计风速的条件下进行。将受检高效过滤器下风侧测得的泄漏浓度换算成透过率，高效过滤器不得大于出厂合格透过率的2倍；D类高效过滤器不得大于出厂合格透过率的3倍。

B.3.5 在移动扫描检测工程中，应对计数突然递增的部位进行不定点检验。

B.4 室内空气洁净度等级的检测

B.4.1 空气洁净度等级的检测应在设计指定的占用状态（空态、静态、动态）下进行。

B.4.2 检测仪器的选用：应使用采样速率大于1L/min的光学粒子计算器，在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力，粒子浓度适用范围和计数效率。仪表应有有效的标定合格证书。

B.4.3 采样点的规定：

1 最低限度的采样点数NL，见表B.4.3；

表B.4.3 最低限度的采样点数NL表

测点数NL



2



3



4



5



6



7



8



9



10



洁净区面

积A（m2）



2.1～

6.0



6.1～

12.0



12.1～

20.0 



20.1～

30.0



30.1～

42.0



42.1～

56.0



56.1～

72.0



72.1～

90.0



90.1～

110.0



注：1 在水平单向流时，面积A为与气流方向呈现垂直的流动空气截面的面积。

2 最低限度的采样点数NL=A0.5计算（四舍五入取整数）。



2 采样点应均匀分布于整面积内，并位于工作区的高度（距地坪0.8m的水平面），或设计单位、业主特指的位置。

B.4.4 采样量的确定：

1 每次采样的最少采样量见表B.4.4

B.4.4 每次采样的最少采样量Vs（L）表

洁净度 等级



粒径（μm）

0.1

0.2

0.3

0.5

1.0

5.0

1

2000

8400

—

—

—

—

2

200

840

1960

5680

—

—

3

20

84

196

568

2400

—

4

2

8

20

57

240

—

5

2

2

2

6

24

680

6

2

2

2

2

2

68

7

—

—

—

2

2

7

8

—

—

—

2

2

2

9

—

—

—

2

2

2

2 每个采样点最少采样时间为1min，采样量至少为2L；

3 每个洁净室（区）最少采样次数为3次。当洁净区仅有个采样点时，则在该点至少采样3次；

4 对预期空气洁净度等级达到4级或更洁净的环境，采样量很大，可采用ISO14644—1附录F规定的顺序采样法。

B.4.5 检测采样的规定：

1 采样时采样口处的气流速度，应尽可能接近室内设计气流速度；

2 对单向流洁净室，其粒子计数器的采样管口应迎着气流方向；对于非单向流洁净室，采样管口宜向上；

3 采样管必须干净，连接处不得有渗漏。采样管的长度应根据允许长度确定，如果无规定时，不宜大于1.5m；

4 室内的测定人员必须穿洁净工作服，且不宜超过3名，并应远离或位于采样点的下风侧静止不动或微动。

B.4.6 记录数据评价。空气洁净度测试中，当全室（区）测点为2～9点时，必须计算每个采样点的平均粒子浓度Ci值、全部采样点的平均粒子深度N及其标准差，导出95%置信上限值；采样点超过9点时，可采用算术平均值N作为置信上限值。

1 每个采样点的平均粒子浓度Ci应小于或等于洁净度等级规定的限值见表B.4.6-1。

表B.4.6-1 洁净度等级及悬浮粒子浓度限值

洁净度等级



大于或等于表中粒径D的最大浓度Cn（Pc/m3）



0.1μm



0.2μm



0.3μm



0.5μm



1.0μm



5.0μm



1



10



2



—



—



—



—



2



100



24



10



4



—



—



3



1000



237



102



35



8



—



4



10000



2370



1020



352



83



—



5



100000



23700



10200



3520



832



29



6



1000000



237000



102000



35200



8320



293



7



—



—



—



352000



83200



2930



8



—



—



—



3520000



832000



29300



9



—



—



—



35200000



8320000



293000



注：

1 本表仅表示了整数值的洁净度等级（N）悬浮粒子最大浓度的限值。

2 对于非整数洁净度等级，其对应于粒子粒径D（μm）的最大浓度限值（Cn），应按下列公式计算求取。 

3 洁净度等级的粒径范围为0.5～5.0μm，用于定级的粒径数不应大于3个，且其粒径的顺序级差不应小于1.5倍。



2 全部采样点的平均粒子浓度N的95%置信上限值，应小于或等于洁净度等级规定的限值。即：式中 N──室内各测点平均含尘浓度，N=∑Ci／n；

n──测点数；

s──室内各测点平均含尘浓度N的标准差：

t──置信度上限为95%时，单侧t分布的系数，见表B.4.6-2。

表B.4.6-2 t系数

点数



2



3



4



5



6



7～9



t



6.3



2.9



2.4



2.1



2.0



1.9



B.4.7 每次测试应做记录，并提交性能合格或不合格的测试报告。测试报告应包括以下内容： 

1 测试机构的名称、地址；

2 测试日期和测试者签名； 

3 执行标准编号及标准实施日期；

4 被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图；

5 被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径（或沉降菌、浮游菌）、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压型；

6 测量用的仪器的编号和标定证书；测试方式细则及测试中的特殊情况；

7 测试结果包括在全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓度（或沉降菌、浮游菌的菌落数）；

8 对异常测试值进行说明及数据处理。

B．5 室内浮游菌和沉降菌的检测

B.5.1 微生物检测方法有空气悬浮微生物法和沉降微生物法两种，采样后的基片（或平皿）经过恒温箱内37℃、48h的培养生成菌落后进行计数。使用的采样器皿和培养液必须进行消毒灭菌处理。采样点可均匀布置或取代表性地域布置。

B.5.2 悬浮微生物法应采用离心式、狭缝式和针孔式等碰击式采样器，采样时间应根据空气中微生物浓度来决定，采样点数可与测定空气洁净度测点数相同。各种采样器应按仪器说明书规定的方法使用。沉降微生物法，应采用直径为90mm培养皿，在采样点上沉降30min后进行采样，培养皿最少采样数应符合表B.5.2的规定。

表B.5.2 最少培养皿数 

空气洁净度级别



培养皿数



＜5



44



5



14



6 



5



≥7



2



B.5.3 制约厂洁净室（包括生物洁净室）室内浮游菌和沉降菌测试，也可采用按协议确定的采样方案。 

B.5.4 用培养皿测定沉降菌，用砬撞式采样器或过滤采样器测定浮游菌，还应遵守以下规定： 

1 采样装置采样前的准备及采样后的处理，均应在设有高效空气过滤器排风的负压实验室进行操作，该实验室的温度应为22±2℃；相对湿度应为50%±10%；

2 采样仪器应消毒灭菌； 

3 采样器选择应审核其精度和效率，并有合格证书；

4 采样装置的排气不应污染洁净室；

5 沉降皿个数及采样点、培养基及培养温度、培养时间应按有关规范的规定执行。 

6 浮游菌采样器的采样率宜大于100L/min；

7 碰撞培养基的空气速度应小于20m/s。

B．6 室内空气温度和相对温度的检测

B.6.1 根据温度和相对湿度波动范围，应选择相应的具有足够精度的仪表进行测定。每次测定间隔不应大于30min。

表B.6.1 温、湿度测点数

波动范围



室面积≤50m2



每增加20～50m2



△t=0.5±～±0.2℃



5个



增加3～5



△RH=±5%～±10%



△t≤±0.5℃



点间距不应大于2m，点数不应少于5个



△RH≤±5%



B.6.2 室内测点布置：

1 送回风口处；

2 恒温工作区具有代表性的地点（如沿着工艺设备周围布置或等距离布置）； 

3 没有恒温要求的洁净室中心；

4 测点一般应布置在距外墙表面大于0.5m，离地面0.8的同一高度上；也可以根据恒温区的大小，分别布置在离地不同高度的几个平面上。

B.6.3 测点数应符合表B.6.1的规定。

表B.6.1 温、湿度测点数

波动范围



室面积≤50m2



每增加20～50m2



△t=0.5±～±0.2℃



5个



增加3～5



△RH=±5%～±10%



△t≤±0.5℃



点间距不应大于2m，点数不应少于5个



△RH≤±5%



B.6.4 有恒温恒湿要求的洁净室。室温波动范围按各测点的各次温度中控制点温度的最大值，占测点总数的百分比整理成累积统计曲线。如90%以上测点偏差值在室温波动范围内，为符合设计要求。反之，为不合格。

区域温度以各测点中最低的一次测试温度为基准，各测点平均温度与超偏差值的点数，占测点总数的百分比整理成累计统计曲线，90%以上测点所达到的偏差为区域温差，应符合设计要求。相对温度波动范围可按室温波动范围的规定执行。