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洁净室内悬浮粒子的测定：显微镜法和光散射式粒子计数器法 1. 显微镜法 用采样泵戏入洁净室内的空气，用滤膜捕集粒径5μm以上的微粒，并用显微镜测量的其大小和数量。该方法中，粒径是每个粒子的最 大直径表示的。 捕集方法：吸入空气量为10L/min在30分钟内吸入300L，采样高度离地板100cm，测定位置。 A. 地板面积小于15M2时，测定1`和2`两点。 B. 地板面积在15~100M2之间，测定1~5五个点。 C. 地板面积大于100M2时，每超过100M2，除上述测定点外再增加四个点。 2. 光散射式粒子计数器法 这是对洁净室内粒径在0.5μm以上的微粒，用光散射式粒子计数器直接连续测定其大小和数量的方法。这种方法测得的粒径不表示悬浮粒子的绝对粒径值，而是表示具有等效散射光的标准粒子的直径。 该测定方法，对光散射式粒子计数器的构造，功能及特性等都有具体规定。 测定时，设定粒径选择开关，测定的空气量至少要达1升，测量可连续或者间歇方式进行。但是，估计粒子浓度可能超过500个/升时，只要是计数值能指出500左右，就可以适当减少测定的空气量，但不要少于0.1升。 测定仪器显示出计数值后，微粒浓度可按下式计算 P=N/Qt P为单位体积内的粒子数，即计数浓度[个/升]，N表示个数[个]， Q为吸入空气量[升/分钟]，t为测定时间[分钟]。