C.8.1 本测试用于确认有无被污染的空气从相邻无尘车间(区)或非无尘车间(区)通过吊顶、隔墙等表面或门、窗渗漏入无尘车间(区)。一般适用于1级至5级的无尘车间(区)进行测试。采用光度计法和粒子计数器法进行测试。
C.8.2 采用粒子计数器法时,测量被评价的表面的无尘车间(区)外部的空气中悬浮粒子浓度,应比无尘车间(区)内的浓度大一个104的倍数,并至少大于等于3.5×106/m3待测粒径;若其空气中悬浮粒子浓度小于该值,应添加气溶胶提高浓度。
粒子计数器扫描时,仪器应距离无尘车间(区)内待测试的接缝密封处或啮合面5~10cm;扫描速度5cm/s。对敞开的门廊处的测试,应在距离无尘车间(区)内敞开的门0.3~3.0m处检测空气中悬浮粒子浓度。
C.8.3 采用光度计法时,测量被评价的表面的无尘车间(区)外部的空气中悬浮粒子浓度高于光度计按0.1%设定值的负载,若光度计为0.1%刻度值的读数超过0.01%就表明有渗漏。