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无尘室宏粒子与超微粒子的测试规范规定

2016-06-26
一、宏粒子
B.13.1 无尘室(区)内粒径大于5μm的宏粒子的测试,可在三种占用状态中的任一种状态下进行测试。

B.13.2 宏粒子的测试,宜采用过滤法、粒子计数器计数法等进行测量,其采样点、采样流量可按C.1的要求进行。具体方法参照ISO14644-3中的B.3

二、超微粒子

C.12.1 无尘室(区)内粒径小于0.1μm的超微粒子的测试,可在三种占用状态中的任一种状态下进行测试。

C.12.2 超微粒子的测试,宜采用凝聚核粒子计数器进行;其采样点和采样流量可按C.1的要求进行。具体方法参照ISO14644-3中的B.2


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