Ⅰ 主控项目
1) 检查箱体及箱内阀门、仪表和附件的完整性、密封性和合格证书,并作好检查记录。当发现有缺陷时,应进行密封试验或由供应商补充,完善;
2) 就位安装应按工程设计图纸、产品说明书要求进行,并检查接管、接线方位的正确性;
3) 各种管道的连接,应在所在系统吹扫或清洗合格后进行连接。
检查方法:观察检查。
检查数量:各阀门箱全数检查。
1 ) 酸碱类容器宜采用内衬PTFE、PFA、PVDF或PE等材质,酸碱管道宜采用内管为PFA、外管为透明PVC的双层套管;
2 ) 有机容剂类的容器、管路,宜采用低碳不锈钢;
3 )管路系统法兰、螺纹连接的垫片,宜采用氟橡胶或聚四氟乙烯等。
检查方法:观察检查。
检查数量:各类设施全数检查。
Ⅱ 一般项目
1) 搬入洁净室(区)前,应进行认真的清洁,符合要求后从规定的搬入口运入;
2)容器搬运,应根据容器结构、规格尺寸及接管配置状况,进行可靠的固定,不得倒置;
3) 就位前,检查基础平整度、高度,基础表面的水平度不得大于2/1000,标高偏差不大于
4) 容器各接管中心与基础面上的基准线对准、测量,其允许偏差为
5) 容器安装就位后的垂直度,不应大于2/1000。
检查方法:观察检查、尺量。
检查数量:各类容器全数检查。
检查方法:观察检查、尺量。
检查数量:见相关规定。
1 )按各种化学品供应系统,分别在安装完成后分系统进行吹扫或清洗;
2) 吹扫或清洗宜采用干燥压缩空气或纯氮或清洁水,吹扫介质压力为0.2~0.3MPa;吹扫管路应设置过滤精度严于0.3μm的过滤器;
3) 吹扫清洗时,应关断所有接至各类容器的阀门;管路系统的过滤器滤芯,流量计应卸下,待吹扫后按原样复装;
4) 各系统的吹扫应反复多次冲击进行,吹扫时间宜少于2.0h,并以湿的白色滤纸或白布或涂有白色漆的靶板放在吹扫气排出口,经5min后检查微粒状况。不合格时,继续吹扫,直至合格。
检查方法:观察检查、仪表检查。
检查数量:按系统分别全数检查。
1) 管路系统的试验应按工程设计文件要求进行强度试验、气密性试验,其试验方法参照国家标准《工业金属管道工程施工及验收规范》GB 50235的规定进行;
2) 管路系统的试验、试运转,通常不包括各类容器、泵类等设备;
3) 承压管道应进行强度和严密性试验,强度试验的试验压力为设计压力的1.5倍,严密性试验的试验压力为设计压力的1.15倍。非承压管道应进行满水试验。
4) 试验合格后,以纯水或氮气进行清洗吹扫,直至末端无杂质、污染物为合格;