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世界各国洁净度等级对比

2016-05-29
一、ISO国际标准

二、中国大陆洁净等级标准 GB50073-2001 

由中国电子工程设计院会同有关单位，等效采用国际标准 ISO14644-1 的洁净等级对洁净厂房设计规范(GBJ73-84)中的洁净等级进行修订。与旧规范相比，控制粒径 2 种增加到 6种，4 个级别增加到 9 个级别。另外是允许采用整数间的中间级别。 
  三、美国联邦洁净等级标准 FED-STD-209E

美国早在1963年就发表了联邦标准FS209，并随着洁净技术的发展不断修订，在1988年修订为 FSD209D，到 1992 年 9 月被 FS209E 所取代。美国环境科学委员会，于 2001 年11 月 24 日正式宣布，由即日起取消并废除洁净室的美国联邦标准《Fed-Sta-209E》 ，在美国等效使用“ISO14644-1”洁净室等级的国际标准。 
四、日本工业标准  JIS B9920——1989 

日本以前一直采用美国标准， 在 1989 年也颁布了本国的工业标准 JISB9920,该标准把洁净度划分为 8 个等级，它的特点是以 0.1μm的粒子做为衡量洁净度等级的标准粒径。
五、主要国家间洁净等级换算表 

六、常见错误或被误导点
1．洁净室应以 0.1μm等 6 个粒子为衡量粒径，而 ULPA 通常以 0.12μm为衡量粒径的；
2．在中芯国际的设计图面中常会看到 ISO4.5 的定义，这也是合理的。
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