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洁净室（厂房）及相关设施的内容

2016-06-14
洁净室的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子，即应不引入或少引入微粒，应不产生或少产生微粒，应不滞留或少滞留微粒等；应对洁净室内的温度、湿度、压力等参数按产品生产要求进行控制；根据产品生产要求还需对洁净室内的气流分布、气流速度以及噪声、振动、静电等进行控制。所以，洁净室（厂房）及相关设施大致可以分为八类：
（1）空气净化设备（制冷设备、空调机组、过滤器、风淋室、洁净台） ；
（2）洁净室系统（地面/地板、吊顶/FFU、金属壁板、门、传达窗/观察窗、灯具） ；
（3）工艺介质供应系统（含设备） （纯水、纯气、特气、化学品?） ；
（4）微振控制及静电防护；
（5）洁净服系统、洁净室用品（台、椅、柜、架、吸尘器?） 、洁净室消耗品；
（6）检测仪器；
（7）环保设施（废气处理系统、废水处理系统） ；
（8）专用设备（生物隔离装置、微环境?） 。
电子产品生产对生产环境的控制要求，不仅对房间的空气洁净程度有严格要求， 而且还对与电子产品生产过程直接接触的各种高纯介质——高纯水、 高纯气体、高纯化学品等的纯度杂质含量等要求控制得十分严格； 某些电子产品对振动、 静电、电磁干扰、电力供应等也有较为严格的要求等。
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