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单向流洁净室

2016-06-14
单向流洁净室也称为层流洁净室，其气流是从室内送风一侧平行、直线、平稳地流向相对应的回风侧， 它是将室内污染源散发出的污染物在未向室内扩散之前就被洁净空气压出房间，送入的洁净空气对污染源起到隔离作用。单向流洁净室分为垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室（如下图 所示） 。
垂直单向流洁净室已广泛用于电子产品生产所需 ISO5 级或更严要求的洁净度等级的洁净室中， 目前它与微环境或各种类型的隔离装置配合使用可以满足超大规模集成电路生产所需 ISO1 级、控制粒径 0.1μm 甚至更严格的洁净室中应用。垂直单向流洁净室具有构造简洁、灵活性好、容易达到很严的洁净度等级；但是建造、运行成本较高。
水平单向流洁净室是一面侧墙满布高效过滤器送风口送风， 在相对的侧墙上或洁净室内设隔墙并在同一侧隔墙或在两侧隔墙上设回风格栅（或中效器）回风。这类洁净室的特点是：建筑层高较小，便于布置灯具，高效过滤器安装、维修容易，但沿气流方向的洁净度不同，下风侧空气受上风侧的设备、人员的污染等。
单向流洁净室主要用于电子工业和生物制药生产的局部区域。 在生物医药产品生产中主要采用局部设置层流罩或净化工作台或生物安全柜等满足产品生产工艺要求。 在电子工业中的微电子产品或一些电子器件产品生产中需要一个房间或一条生产线甚至数条生产线的主要工序均需设置在 100 级以上的洁净室内， 才能满足产品生产的要求。目前超大规模集成电路生产，要求微粒控制粒径 0.1μm、0.05μm，达到 1 级或更高级别的要求，为此，单向流洁净室的空间布置已从“单层”布置发展到“多层”布置。
“单层” 布置的单向流洁净厂房如图  所示例， 在单向流洁净生产区的上部、下部设有上、下技术夹层，在上技术夹层内布置送风管道、部分公用动力管线（主要包括自来水、纯水、各类气体或液体管道和电力、照明及通信线缆等） ，通过设在顶棚上的高效过滤器向洁净生产区均匀送风； 通过设在下技术夹层的回风地板回风至空气处理装置。供应洁净生产区所用的部分公用动力管线、设备和工艺生产用管线、设施等同层布置洁净生产区的邻近处。这种空间布置的灵活性较差，当产品生产工艺或产品数量扩大时，进行工艺平面布置调整较为困难，需要较长的技术改造时间，技改费用增加。

“多层”布置的单向流洁净厂房，这种布置的主要特点是将洁净生产区与供应产品生产工艺所需的各类公用动力管线、 产品生产工艺管线及设施布置在下技术夹层内，同洁净生产区分层布置。如果工程投产后需进行生产工艺调整或产品产量扩大时，仅需将洁净生产区的平面布置进行调整、改造，而与洁净生产区相关的风管、公用动力管线和生产工艺管线、设施都布置在下技术夹层内，这样可以比较方便地根据产品生产工艺调整、变化的需要进行相应的改造，技术改造的费用可以减少，所需时间也可以缩短。

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