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基本常识
> 混合型洁净室
混合型洁净室
2016-06-13
混合型
洁净室
是将单向流
洁净室
与非单向流洁净室混合于同一洁净室内组合使用,这种形式既满足电子产品生产的较严的
洁净度等级
要求,又可降低建造、运行费用。 它的特点是需要空气洁净度严格的区域采用单向流, 其他区域为非单向流,既满足使用要求,也节省建造投资和运行费用。隧道式洁净室就是典型的混合流洁净室 (如图 3-5 所示) , 它是由两侧的垂直单向流洁净区——产品生产区 (工作区) ,空气洁净度等级为 ISO5 级或更严格;中间为非单向流洁净区——走道、运输通道和辅助设备区等,洁净度等级一般为 ISO6-7 级。单向流、非单向流的混合回风经设备维修区或管道间,一部分回至集中
净化空调系统
,另一部分回至单向流
层流罩
或
FFU
送风装置等。目前混合流洁净室应用十分广泛,如果把产品生产过程要求空气洁净度十分严格的微环境+大开间洁净室也视作混合流洁净室,可以认为混合汉洁净室可应用于任何级别的洁净室。
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