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混合型洁净室

2016-06-13
混合型洁净室是将单向流洁净室与非单向流洁净室混合于同一洁净室内组合使用,这种形式既满足电子产品生产的较严的洁净度等级要求,又可降低建造、运行费用。 它的特点是需要空气洁净度严格的区域采用单向流, 其他区域为非单向流,既满足使用要求,也节省建造投资和运行费用。隧道式洁净室就是典型的混合流洁净室 (如图 3-5 所示) , 它是由两侧的垂直单向流洁净区——产品生产区 (工作区) ,空气洁净度等级为 ISO5 级或更严格;中间为非单向流洁净区——走道、运输通道和辅助设备区等,洁净度等级一般为 ISO6-7 级。单向流、非单向流的混合回风经设备维修区或管道间,一部分回至集中净化空调系统,另一部分回至单向流层流罩FFU 送风装置等。目前混合流洁净室应用十分广泛,如果把产品生产过程要求空气洁净度十分严格的微环境+大开间洁净室也视作混合流洁净室,可以认为混合汉洁净室可应用于任何级别的洁净室。



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