下面，我们对各个部件进行分析介绍：　　一、预过滤器　　一般为可清洗聚胺脂泡沫，主要防止因施工、检修或其它意外情况产生杂物而可能造成的对过滤器的伤害。　　二、外壳体　　组成材料大致有铝板、铝合金、硬塑、 ...

     洁净室是半导体晶圆厂的心脏，所有晶圆的生产在其间完成，洁净室由两大部份组成一为洁净环境供应系统，一为高洁净度内装系统。 　　1.洁净环境供应系统　　此系统供应洁净室所需的无尘洁净空气，并精确控制 ...

     洁净室是半导体晶圆厂的心脏，所有晶圆的生产在其间完成，洁净室由两大部份组成一为洁净环境供应系统，一为高洁净度内装系统。 　　1.洁净环境供应系统　　此系统供应洁净室所需的无尘洁净空气，并精确控制 ...

对于洁净室的污染源主要指微尘和细菌二大类 　　2.1 外部污染源 　　2.1.1大气尘的浓度 　　大气尘是洁净室要直接处理的对象，在洁净技术中，最常用的是以≥0.5μm的微粒数量为准的计数浓度，以最干净的同温层（距 ...

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对于洁净室的污染源主要指微尘和细菌二大类 　　2.1 外部污染源 　　2.1.1大气尘的浓度 　　大气尘是洁净室要直接处理的对象，在洁净技术中，最常用的是以≥0.5μm的微粒数量为准的计数浓度，以最干净的同温层（距 ...

前言 　　在空调环境中采用的新风，一般是指在封闭的或半封闭的环境中人为的送入外界自然环境的空气。　　　　地球表面裹着大气层，而紧贴地球表面的厚度约为12至16千米的一层称对流层。这是地球表面上的人类和生物 ...