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电子工业洁净室FFU结构简介

2016-06-03
下面,我们对各个部件进行分析介绍:

  一、预过滤器

  一般为可清洗聚胺脂泡沫,主要防止因施工、检修或其它意外情况产生杂物而可能造成的对过滤器的伤害。

  二、外壳体

  组成材料大致有铝板、铝合金、硬塑、不锈钢等几种,不同厂家和不同的使用环境有不同的选择,厚度大约为1.2~2.0,视厚度情况有些可以载人。

  三、风管连接部件

  在洁净级别较低(≤1000级 联邦标准209E)的场合,此时吊顶上部没有静压箱,带有风管连接部件的FFU使得风管和FFU的连接十分方便。

  四、电机

  目前,交流电机和直流电机在FFU中都有使用,直流电机的体积大,造价高,控制容易实现,能耗较高。交流电机的体积小,造价低,控制需要相应的技术,能耗较低。现在FFU所使用的 电机的寿命大约为4~10万小时不等。一些优秀的电机会有相应的技术,如无油润滑,密封轴承,带过热保护,换向器寿命得到显著提高等。

  五、叶轮

  叶轮有两种形式,前倾和后倾,前倾有利于增加气流组织的矢向流动,增强去除尘埃的能力。后倾有利于降低能耗,减小噪音。

  六、气流均衡装置

  随着FFU的不断普及,绝大部分厂家都开始装配气流均衡装置,用来调整FFU的出口气流, 从而改善洁净室的气流分布。目前,这种均衡装置大约分为三种:一种为孔板(如图6所示), 主要通过板上的孔的疏密分布来调节FFU的出口气流。一种为格栅(如图7所示),主要通过格栅 的疏密来调节FFU的出口气流。另外一种为动力曲线(如图8所示),主要通过曲线的形状来诱导气流的流动,同时也通过曲线上的孔的疏密分布来调节气流。

  七、过滤器

  FFU所使用的过滤器和洁净厂房所用的其它过滤器一样,这里不再赘述。

  八、金属防护网

  金属防护网主要起到对过滤器的保护作用,大部分都防静电。

  九、刀缘

  当FFU使用在一些特别的场合时,带刀缘的FFU可使用液槽密封,从而能满足高密封性的要求。

  十、控制单元

  FFU的控制可大致分为多档开关、连续调节、计算机控制等几种,同时实现的功能有单台控 制、分区控制、报警、运行状态显示等。


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