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> 洁净技术领域的研究方案
洁净技术领域的研究方案
2016-06-04
(1)解耦原理是一种重要的实验理论方法,往往通过解耦原理能把原本较复杂或者是“混沌”的物理现象转化为若干个简单的物理现象集合,能够使实验者更为清楚地看清现象的本质,使得实验或分析过程大大简化,并最终得到解决,因此解耦原理成为实验科学研究和实践的重要理论方法。
在理论方面1978年中国建筑科学研究院许钟麟研究员首次在传统的
洁净室
内全室微粒均匀分布理论的基础上,通过分析影响
洁净室
含尘浓度不均匀分布的各种因素,把
洁净室
的含尘浓度分布进行了解耦,解耦成了3个分布区域(即送风口下方的主流区,回风口区域的回风口区,其余的区域为涡流区)
传统的洁净空间控制污染的机理,主要是通过布置在送风末端的高效过滤器将洁净气流送入。由于过滤器很难避免在制作、运输和安装过程中,总不断地有机会造成过滤器的滤材、滤器及安装结合面的渗漏,高效过滤器的渗漏是不可避免的,所以仅靠密封堵漏不能有效解决渗漏问题。单向流
洁净室
的满布高效过滤器的送风天花不仅仅起到了过滤的作用,而且还起均流作用和防漏作用,因此末端高效过滤器把防漏、过滤与分布气流的三个作用耦合于一体,大大提高了对末端过滤器的要求。在这样的背景下,利用阻漏层理论,把末端高效过滤器的过滤、均流和防漏的三个功能解耦,已经成为
洁净室
发展的一项新的技术措施。
(2)有条件的,通过计算流体力学(CFD)结合粒子分布轨迹进行气流组织数值模拟,可以较好解决合理的设备布置与在最低的气流速度下,不产生涡流避免污染物的再卷入,但此方法的应用,目前尚有一定难度,尚不易普及。
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