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2 高纯气体、特种气体管道及其阀门、附件等的材质应按所输送介质的物化性质和工作参数进行选择，高纯气体和部份特气管路，采用低碳不锈钢管时，它们的安装施工应符合本规范7.3的规定。

3 管路系统的试运转应包括管路吹扫、气密试验和纯度试验。 

Ⅰ　主控项目 

4 高纯气体、特种气体供应设施安装前，应按工程设计文件和产品说明书或合约的要求，检查设备（包括填充的纯化材料等）、阀门和管件的完整性、密封性，并作检查记录。

检查方法：观察检查、尺量。

检查数量：按气体品种、分系统全数检查。

5 纯化设备、特气柜的搬运、就位应符合下列规定：

1） 搬入无尘车间（区）前，应进行认真的清洁，符合要求后从规定的设备搬入口运入；

2） 整体设备搬运时，应按设备的构造、管道及阀门等附件的配置状况安全运输，不得倒置，并可靠固定；

3) 设备就位时，应按工程设计文件和产品说明书要求，准确做好接管、接线定位；

4)  就位后，水、电接口可按图纸要求连接；

5 气体管道接口，应在分系统的气体输送管道安装试运转合格后才能连接。

检查方法：观察检查、尺量。

检查数量：按气体品种、分系统全数检查。

6 高纯气体、特种气体系统的阀门箱、吹扫盘的安装，应符合下列要求：

1) 检查箱体及箱内阀门、仪表和附件的完整性、密封性和合格证书等，并作好记录；当发现阀门、仪表等有缺陷时应进行气密性试验或由供货商进行更换；

2)安装位置应按工程设计图纸、产品说明书要求进行，并检查接管、接线方位的正确性；

3) 气体管道接口，应在所在系统试运转合格后才能连接。

检查方法：观察检查、尺量。

检查数量：按气体品种、分系统全数检查。

7 高纯气体、特种气体设施施工安装试运转的纯度试验，应符合下列要求：

1 )纯度试验介质，宜采用输送介质相同纯度及杂质含量的自身气体或氮气进行试验；

2 )试验气体的压力，宜与输送介质的设计压力相同；

3) 试验气体的检测取样口或排气接口，应设在供气系统中要求气体纯度及其杂质含量最严格且距离最长的用气设备处；

4) 纯度试验过程，取样时间的间隔宜为4h左右；气体样品应采用与输送介质纯度及允许杂质含量相应的精度等级的仪器进行分析；

5) 当试验气体的进气、排风的纯度取样分析的纯度及其杂质含量（一般以氧痕量浓度、水痕量浓度为代表）基本一致时，可认为纯度试验合格。

检查方法：仪器检查。

检查数量：按系统全数检查。 

Ⅱ　一般项目 

8 管路吹扫应符合下列要求：

1 )应按气体品种、工作参数分系统分别进行吹扫；

2) 管路系统应采用0.3～0.5MPa的无油干燥压缩空气或纯氮进行吹扫，吹扫气体应设置过滤精度严于0.3μm气体过滤器去除微粒；对输送可燃气体的管路宜采用纯氮吹扫；

3 )在管路系统吹扫气体排出口设靶检查，以靶上未见微粒为合格；对输送可燃气体的管路系统，应以排出口吹扫气体中含氧量小于1%为合格。

检查方法：观察检查、仪表检查。

检查数量：按系统全数检查。

9 管路系统的试验应符合下列要求：

1) 高纯气体、特种气体供应设施的强度试验、气密性试验和泄漏量试验及试验压力，均应按工程设计要求。试验气体采用无油干燥压缩空气或纯氮进行；

2) 试验气体压力按规定逐步升至系统强度试验压力后，保持10min，然后降压至气密性试验压力，检查接口、焊缝是否泄漏，以不漏为合格；

3)泄漏量试验，气密性试验合格后，系统以设计压力保持24h，检查泄漏率不超过0.5%为合格。若不合格，检查原因并进行完善后，再次进行泄漏量试验，直至合格为止。泄漏率（A）按式（12.2.9）进行计算：

               （12.2.9）

式中：、——试验开始、终结时的绝对压力，（MPa）；

      、——试验开始、终结时的温度，（℃）

4) 管路系统的气密性试验等，一般均不包含纯化设备、特气柜和阀门箱等。

检查方法：观察检查、仪表检查。

检查数量：按系统全数检查。