| 国际标准 | |
ISO14644-1 | Classification of air cleanliness 洁净室与相关受控环境第1部分空气洁净度分级 |
ISO14644-2 | Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1 洁净室与相关受控环境第2部分为认证与ISO 14644-1连续的相符性的测试和监测技术要求 |
| ISO14644-3 | Test Methods 洁净室与相关受控环境第3部分计量和测试方法 |
| ISO14644-4 | Design, Construction, and Start-up 洁净室与相关受控环境第4 部分设计、施工和启动 |
| ISO14644-5 | Operations 洁净室与相关受控环境第5部分运行 |
| ISO14644-6 | Vocabulary 洁净室与相关受控环境第6部分术语和定义 |
| ISO14644-7 | Separative devices(clean air hoods, gloveboxes,isolators and minienvironments) 洁净室与相关受控环境第7部分增强的洁净装置 |
关注微信公众号
