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A．空气洁净度

等级每M3空气中≥0.5微米尘粒数每M3空气中≥0.5微米尘粒数

100级≤35×1001000级≤35×1000≤25010000级≤35×10000≤2500100000级≤35×100000≤25000

B．温、湿度

（1）满足生产要求；

（2）生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为20-26℃，湿度小于70%；

（3）人员净化用室和生活用室温度为16-28℃。

C．洁净室正压

洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于4.9Pa，洁净区与室外的静压差，应不于9.8Pa.。

此外，还有对于风量，风速等的技术要求。总之，洁净间的各项指标都非常严格，因此，对其进行精确的控制就成为必须。