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洁净室内的污染源主要来自四个方面：
1、大气中含尘、含菌、净化空调系统中新风带入的尘粒和微生物；
2、作业人员发尘；
3、建筑围护结构、设施的产尘，这里包括墙、顶棚、地面和一些裸露管线的产尘；
4、设备及产品生产过程的产尘。
为保证产品环境或其他用途的洁净室所要求的空气洁净度，要采取多种综合技术措施才能达到要求。这些综合措施包括：应采用产生污染物少的生产工艺及设备，或采取必要的隔离和负压措施防止生产工艺产生的污染物质向周围扩散，采用产尘少、不易滋生微生物似的室内装修材料及工器具；减少人员及物料带入室内的污染物质；维持生产环境相对于室外或空气洁净度等级要求低的邻室有一定的正压，防止室外或邻室的空气携带污染物质通过门窗过其他缝隙、孔洞侵入；加强洁净室的管理，按规定进行清扫、灭菌等。
除采取上述种种技术措施之外，为使生产环境或其他用途的洁净室室内环境控制在所要求的空气洁净度等级，重要的技术措施是需要送入足够量的经过处理的清洁空气，以替换或稀释室内在正常工作时所产生的污染物质污染后的空气。洁净室的空气净化处理就是根据房间不同的洁净度等级要求，采取不同方式送入经过处理的数量不等的清洁空气，同时排走相应数量的携带有在室内所产生的污染物质玷污的脏空气，靠这样的动态平衡，使室内环境维持在所需的空气洁净度等级。
目前洁净室对送入空气的洁净方法，最重要和使用最广泛的方式是空气过滤法。送入洁净室的清洁空气，主要是靠送风系统的各个部位设置不同性能的空气过滤器，用以除去空气中的悬浮粒子和微生物。
下面将对洁净室污染控制领域中比较新颖的技术方案进行介绍：
（1）用传统的喷水室湿法处理空气来处理新风中的化学物质。近几年来日本开展了很多研究证明了其有效性。日本三机工业公司利用纯水及自来水对 气体的喷水处理进行了比较研究，认为自来水比纯水的净化率更高，这是由于水中 离子等的影响。
（2）有杀菌作用的HEPA过滤器(杀菌酵素过滤嚣)。过去采用金属离子的毒性来杀菌，如银型阳高于交换纤维制成的空气过滤器(IEE—Ag)，现今可采用从生物体中提取的天然酵素(固定在纤维纸上，达到分子级的结合水平)将细菌的细胞壁溶解以达到杀菌的目的，是一种安全的灭菌措施，它防止了过滤器上微生物增殖所产生的二次污染。
（3）UV光电子空气净化方法。这种方法不同于普通的静电过滤器，该方法利用将紫外线照射在金属膜层上产生光电效应，在空气中产生电子和负离子使流经的污染物质荷电并被集尘极捕集。目前在有限的小空间范围内已有应用。
（4）除海盐粒子过滤器海盐粒子的粒径范围为1-lO ，中位粒径约为3-4 。沿海岸地区空气中含盐量平均达1 左右(一般地区低于该值)，台风等强风作用下可达100 。这种状况对微电子工厂极为不利。现在有两种措施：1)所采用的滤材即使在大量盐分附着后不容易析出；2)在空调箱进入段处先设喷水段及档水板，可先捕集90％的海盐粒子，再经普通的空气过滤器清除未被捕集的粒子。喷雾用水应直接排放出，不予回收。对于临海设置的微电子工厂在空调净化装置中应予考虑。
（5）智能型空气离子净化系统近几年来欧洲开发了一种智能化净化系统，如瑞土LK公司的IONAIR离子空气智能化净化系统，它利用离子发生工作单元的高压电离原理，释放出稳定的正负电氧离子族，带电氧离子与VOC物质发生反应，将其分解成 和 ，同时带电氧离子包裹并杀灭细菌，以达到去除臭味净化空气的目的，在这过程中，会产生少量 。为保证室内空气质量处于最佳状态，该系统还配有智能化控制系统，通过送风管上的风速、湿度和 传感器及回风管和新风管中的空气品质传感器并能将检测数据传到电离控制器，以控制离子发生单元的工作强度，自动控制室内的空气品质，同时这些数据通过传送器和网络，可以进行远程监控。
（6）新型空气吹淋室。传统的吹淋室对人体吹淋停止后，小室内的含尘空气有可能被带入车间，新改进的吹琳室，具有快速自净的功能，当停止吹淋气流后，可部分转换成顶部垂直气流，这样可使小室内空气含尘量很快降低，达到自净效果。
（7）超薄型自净装置。日本Airtech公司新近开发了一种超薄型自净器，厚度仅70mm，做成屏障式，可移动，出风口面积为830x570mm，可配置各种等级的过滤器以及多种工作模式。
