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机织物由复丝织成。洁净室从不使用短纤或天然纤维织物，因为这类产品会产生大量纤维绒毛。洁净室使用的织物，其重要特性有截留(过滤)污染物效率、透气 性、透湿蒸汽速率、耐磨和静电衰减性等。其代表性的透气率(airpermeability)为1～45立方英尺/分，对0.3-0.5μm颗粒的典型过 滤效率为15%～60%。机织物也可用于控制静电放电(ESD)。

 

涤纶长丝广泛用于机织防污染服装，这衣服可以用伽马射线方便地进行消毒。其它材料有Tyvek、Gore-Tex等涂层和层合织物以及一些本身抗静电的织 物。Tyvek是聚乙烯纺粘法非织造布，不掉绒毛、强度高、耐磨性好，适宜用于洁净车间，这种产品消毒容易，具有优异的截留颗粒性能。另-种用于净室的材 料是Kimberly-Clark公司的Kleen-guard，它是聚丙烯纤维用纺粘/熔喷/纺粘非织造布经热熔复合的材料。

 

导电性材料如碳纤维、镍或铝纤维，可以制成洁净室用织物，控制静电作用，这是半导体元件和微型芯片生产中所要求的。在具有燃烧可能性的环境中还能防止产生火花。以导电材料为芯的双组分纤维织成的织物具有抗静电性能。一般说来，洁净室服装的面料应该是本身具有阻燃性能，这类服装的防化性能也是必不可少的。制 作洁净室所用的服装时，凡是松散的布边、洞眼、裂缝以及其它能使颗粒从穿着者或服装上散逸到空气中的途径都应该杜绝。裁剪边缘应该先进行拷边，或熔烧光洁再翻折进去，然后用锁式针迹缝缀或滚边密封。一些容易积集尘埃颗粒的处所，如口袋、带子、褶裥、折叠领或裤子翻边、饰标、边印和笔袋等应该避免，领口和领 子边缘应先包缝后再缝合上。这类服装常用低度变形长丝缝纫线缝制。有些公司采用超声波粘合法缝合，从根本上消除从针眼中透过污染物。