在洁净室中,人是决定微粒污染物产生的重要因素。洁净室小组的每个成员都应当充分了解个人卫生习惯对洁净室洁净程度的影响有多大,这才是最重要的。遵循下列原则可以防止洁净室环境人为微粒污染物的产生。
个人卫生
保持个人卫生是非常重要的,你只要一走进洁净室,就要时刻注意自己的行为举止、避免把不必要的污染物和日常生活中的不良习惯带进洁净室。当你的工作需要在洁净室里进行甚至只是需要走进洁净室,你都必须习惯于穿不会掉毛的棉制的或者涤纶混纺的休闲服。尽量不要穿用尼龙或其他合成纤维织物制成的衣服,它们比较容易产生静电并且会因静电作用吸附微粒,也不要穿带绒毛的毛线衫、围巾或者短袜。
说到化妆品,鼓励使用除臭剂。最好使用干燥、无味、无粉的品牌,例如滚搽式除臭剂、凝胶或者棒状的化妆品。润唇膏就是个很好的例子,但是不建议使用某些容易掉色或者有其他残留物的唇膏、胭脂、粉搽、眼影膏、眉笔、睫毛膏、发胶、香水或者科隆香水,因为这些产品都会产生微粒或者释放出气体。
图1 必须重视和遵守卫生和着装的规定,保证所有洁净室环境的洁净等级在合理水平。christian Delbert公司提供照片。
每天要勤于洗澡和洗头,这样可以有效控制皮屑和头皮屑。尽量把指甲修剪得短一点,如果必须涂指甲油,只能使用不会脱落、不含金属和不带闪光的指甲油。不要留长指甲,因为他们可能会刺穿手套或指套。
在进入洁净室之前,先要用专门配制的洁净室清洁剂和保湿剂洗手,把坏死细胞洗掉并且防止皮肤脱落。为了达到这个目的,只能用你的雇主为你提供的肥皂和保湿液洗手。那些直销的、可以在商店里买到的洗涤剂含有钠和油脂,不符合洁净室的要求。在洁净室里最好不要挠痒或者摩擦皮肤,因为这类动作可能导致皮肤脱落而污染产品。
进入洁净室之前,最好经常梳头,梳头可以去除头皮屑和脱发。戴上蓬松的帽子,而且必须把额头上的头发塞到帽子里,人人都要这么做。不要在洁净室或者更衣室里脱帽子,也不要在洁净室或更衣室里梳头或者拂头发。
不允许在洁净室里嚼口腔糖和吸薄荷糖。但是在进入洁净室之前,喝一定量的水可以有效保持体内的水分。在洁净室的外面可以装一个喷水池。不要把食物和饮料带进洁净室。在进入洁净室前的十五分钟内不能吸烟以保持肺部的清洁。
服装和个人用品
至于珠宝首饰,工作人员可以戴结婚和订婚戒指,但最好不要戴有尖角或者边沿锋利的戒指,因为它们可能会刺穿手套或者衣服。如果一定要戴这种戒指,就需要在戴手套和穿洁净服之前用带子把它们缠起来。建议不要佩戴悬垂式耳环、项链、胸针和其他凸出来的或者悬挂的饰品,即便它们一般都是藏在衣服里面,也最好不要佩戴这些饰物。因为这些东西可能会干扰洁净室或者实验室的正常活动。
个人物品,例如香烟、钱包、纸巾和纸制品,都要存放在办公桌或者储物柜里,不能把它们带进洁净室。除非得到管理人员的特别许可,否则,在洁净室里,衣服口袋只能是空的。强烈推荐工作人员佩戴眼镜或者护目镜,因为我们每眨一次眼睛,眼睛就会排出粘液。在进入洁净室之前,首先要把眼镜和护目镜上所有看得见的微粒污染物擦掉。
干燥的皮屑、呼出的空气和唾液都可能会污染产品。各家公司使用的面罩都不一样,但是有连鬓胡子、小胡子或者长胡须的人必须戴上胡子套。一次性鞋套最好每天更换一到两次。大多数更衣室都有干净的一边和污染的一边,洁净室人员应该始终按规定执行。不能穿着鞋套走出更衣室,又穿着同一双鞋套走进来。
最好戴蓬松的圆帽。正如前面所说的,头发,包括刘海,必须完全藏在帽子里,不能露出来。只能在洁净室或者更衣室外面把帽子摘掉,也不能在洁净室里脱帽子。在洁净室或者更衣室外面戴过的帽子也不能再次使用了。
如果使用可以用水洗的工作服或者连衣裤工作服(“邦尼服”),建议每周更换一到两次,或者只要衣服一脏就立即更换。各家公司在这个程序上的规定也不一样。
必须时刻遵守着装程序。衣服不得与地板接触。与地板接触会污染衣服。如果洁净服确实碰到了地板,必须立即更换干净的洁净服。
图2 典型的洁净室服装。Cintas公司提供照片。
如果需要戴手套,必须使用洁净室专用的无粉乳胶手套或者乙烯基手套。因为有的人对乳胶中的蛋白质过敏,如果因使用了无粉乳胶手套而造成手部出现红点,必须立即改用乙烯基手套。一旦手套褪色或者有破洞必须马上更换,但不能在洁净室里更换,只能在更衣室里更换手套。不要随便拉拽手套和猛地脱下手套,应该慢慢地把手套从手上褪下来。
内务管理
在进入洁净环境之前,建议先用吸尘垫子清洁鞋底。垫子的尺寸取决于门的入口处的大小。它们通常放在更衣室的门外、更衣室的里面和主要的洁净室入口处。洁净室出口处不需要放置吸尘垫子。每只脚至少要在垫子上踩两下。要经常更换粘住浮尘的垫子并且要把它们放在洁净室外面。每天至少要更换两到三次(视人流量而定)。
建议使用专门的高效微粒空气过滤吸尘器,而且要定期清洗。吸尘器分为潮湿/干燥型和干燥型两种,非常适合用来清扫泄漏出来的污染物。危险的泄漏污染物必须由训练有素的安全人员来处理。墙壁和天花板可以用吸尘器弄干。
建议使用经过检验的符合洁净室分级要求的洁净室专用擦拭布,不管是湿的还是干的,但是擦拭布一旦脏了、破了或者磨损了需要妥善处置。地板每天要用拖把拖一遍或者用吸尘器清扫一到两次。(不同公司在这方面的规定和要求也不一样。)在洁净室中,只能使用高效微粒空气过滤吸尘器或者微粒水平低的洁净室拖把。
推荐使用不含钠、钾、氨、铁、铜、镍的水溶液,定期用湿的拖把或抹布清扫洁净室。有时候,可能需要用到洗涤剂和消毒剂,然后再用符合洁净室要求的水漂洗,例如蒸馏水或者去离子水。如果需要使用润滑油,那么最好先问问洁净室的管理人员,哪些润滑油可以使用。通常建议使用低释气的润滑油,在加完润滑油后,要把所有表面残余的润滑油擦掉,避免在油上积累微粒。
门、门框和门槛需要定期清洁。先擦门的上面,然后再擦门的两边和边沿。最好要用预先浸湿的擦拭布擦门。桌子、手推车和其他家具也需要定期清洁。家具要用长的交迭的刷子慢慢擦拭。在擦桌子或者工作台时,要由后向前擦。千万不能快速或者用力擦拭,这样会引起洁净室内空气的扰动。而且,不要忘记擦手推车和桌子的下面。
需要建立一套室内部清洁程序或者请外面的专业人员来做定期清洁。清洁的频率可以是一天一次也可以是一周一次,这要取决于实际要求。必须从洁净室最脏的一边开始清洗,先擦天花板,然后再沿着墙壁一直擦到地板。每次只能清洗一小部分而且要频繁地更换溶液和水。此外,可能还要进行额外的漂洗,特别是在需要使用洗涤剂的情况下。不建议用力或者来回擦洗。清洗洁净室应尽可能用慢的、预先设计好的直上直下的方法反复擦洗。
柔软的乙烯基墙壁或者窗帘可以用预先浸湿的抹布擦拭。要从窗帘顶部开始向下擦,一直擦到地板,然后再用干的抹布擦掉所有残留在乙烯基墙壁或者窗帘上的水。只能用封边的无尘擦拭布。洁净室的外墙还可以用Simple Green公司的产品和不磨损、不掉毛的抹布擦拭。
灯具也需要清洁。要保证擦拭布和溶液不会划伤或者腐蚀镜头,在清洁之前,要先用擦拭布在镜头看不到的位置上先试验一下。预先浸湿的无尘擦拭布最适合这项工作。要用长的交迭的刷子从一端刷到另一端以清洁灯具的内部,然后再用同样的方法清洁灯具的外部。
图3 符合洁净室要求的笔记本、写字夹板、纸张、圆珠笔。RPA公司提供照片。
在清洁玻璃、丙烯酸或者聚碳酸树酯窗户时,擦拭布和清洗剂的选择至关重要。在擦拭过程中,树脂片(丙烯酸或者聚碳酸树酯)窗户可能会被刮坏或者开裂。咨询窗户制造商,了解哪些化学药品可以用于他们的窗户。橡皮刮刀可以简化清洁工作。橡皮刮刀的手柄必须是不锈钢的或者覆有塑料外层。刀板满足低微粒脱落。从窗户顶部慢慢向下移动,反复轻轻地刮擦。由于旧的刀板中的金属可能会露出来刮伤窗户,所以要经常检查刀板。
梯子和踏脚凳是洁净室中常用的重要工具,符合洁净室要求的这类产品是可以在市场上买到的。不要把木制的或者生锈的梯子或者凳子拿到正常运作的洁净室里。要坚持安全操作,不要站在桌子上、椅子上或者推车上。
关于清洗用的水桶和绞干机,首选的产品是使用不锈钢或者塑料构件的自位轮设备。必须把水桶、拖把和其他清洁工具放在洁净室或者更衣室指定的区域内,最好是在这个区域内指定的专用清洁柜。每次清洁完毕,不能把洁净室区域里的清洁工具拿到外面去,这有可能会造成交叉感染。工作人员要注意,一些器皿可能含有易腐蚀的镀锌零件。一旦这些器皿开始腐蚀,应当立即停止使用并且拿出洁净室。
如果需要用到手工工具或者其他材料,就要在洁净室区域内保留一套洁净室专用的工具以进行日常维护。这些工具在进入更衣室之前,要按照洁净室的要求预先用浸湿的抹布擦拭干净,在进入洁净室之前,还要在更衣室里再擦拭一遍。所有的清洁工具,在放进贮藏柜之前,都必须经过清洁、漂洗和干燥以防止霉菌和发霉。
纸张和容器
在洁净室中,只能用符合洁净室要求的笔记本、纸张、文件夹和写字夹板。在给洁净室评级时要咨询制造商。在把洁净室专用纸放进复印机或者打印机之前,要配合制造商检查办公设备和热兼容性。一些类型的纸张有可能会熔化,会在机器滚筒上留下残留物,造成污染,而且有可能会毁坏设备。
连体圆珠笔是最理想的洁净室用笔。按击式圆珠笔往往会在收回笔头时产生金属微粒和塑料微粒。不能在洁净室里用石墨笔(铅笔)。
装废弃物的容器(垃圾桶)必须是不锈钢制品或者单件注塑的塑料制品,而且在桶内要套上柔软的塑料垃圾袋。在倒垃圾时,要抓住垃圾袋的四个角并且把它送到垃圾回收中心。要把垃圾袋密封起来,同时不能让垃圾的气味在洁净室里四处散逸。把垃圾桶拿到更衣室擦拭,每天都要把垃圾桶的里里外外都擦干净。
在商店里可以买到各种尺寸标准和静电放电(ESD)塑料箱、盒子和容器,但是不能把纸板或者木制容器带进更衣室或者洁净室。这些纤维材料容器会产生大量的微粒。如果要使用胶带,只能使用导电胶带或者符合洁净室要求的标准胶带。
结论
经常阅读并严格遵守这些原则将使它们深深印在洁净室工作人员脑海里。虽然仍必须监测和分析微粒的产生,但是在控制关键环境中微粒的含量上,这些管理制度将有助于减少人为因素产生的微粒。
Ron Perry是RPA公司总裁,RPA公司提供了最先进洁净室设计、建造、监测和室内设备。Perry在美国南加州半导体、航空航天、微电子、生物医学和制药等行业洁净室产品销售方面拥有二十五年以上的经验。
工作服(邦尼服)的穿戴步骤
1、用手抓住工作服两只袖口;
2、卷起工作服裤脚,一次把一只脚放进工作服里;
3、站直,仍然抓住两只袖子的袖口;
4、松开一只袖子,把一只手伸到袖子里,然后放开另一只袖子,把另一只手伸到另一只袖子里;
5、拉上工作服拉链,可以开始工作。
这些步骤需要经过良好的训练和保持身体的平衡。你可能需要坐着穿工作服。
拆除吸尘垫薄膜层的步骤
1、查找垫子边沿上的颜色标签;
2、拿起标签,从垫子边沿慢慢剥离薄膜层;
3、继续向上剥离薄膜,让它和垫子分离,直到四个角都与垫子分离;
4、把分离的四个角都拉到垫子中间,形成帐篷状;
5、慢慢地分离垫子中间的薄膜;
6、向内折迭薄膜,直到它小到可以丢弃为止。这些步骤能够确保把尘土微粒不会漏到薄膜的外面。污染了的薄膜应当扔到更衣室外面。
工作人员不能随意撕扯标签和从垫子上把薄膜撕扯掉。这么做会让微粒通过空气进入洁净室,所以一定要慢慢地拆除薄膜。