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　　洁净室建筑表面发尘量｛粒/（min·㎡地面）≥0.5μm｝

　　序号

　　建筑表面发尘量

　　资料来源

　　1

　　（0.8~1）*10⁴

　　电子部十一院《设计通讯》1975年

　　2

　　（0.3~0.9）*10⁴

　　电子部十一院《苏州半导体器件一厂洁净室测定》1978年

　　3

　　0.77*10⁴

　　电子部十一院《北京西城半导体材料厂水平层流洁净室测定报告》1975

　　4

　　4.5*10⁴

　　电子部十一院《出国考察报告》(74)013  1974年

　　洁净室建筑表面发尘量与作业人员发尘量的比较

　　项目

　　粒径

　　洁净室建筑表面发尘量

　　｛粒/（min·㎡地面）｝

　　人员发尘量｛粒/(人·min)｝

　　静止(基本静止)

　　人员正常操作

　　≥0.5μm

　　1.25*10⁴

　　10*10⁴

　　50*10⁴

　　4、工艺生产过程产尘（与生产设备、生产工艺、生产过程有关，不同的生产过程、工艺产尘量不同）。