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> 洁净隧道
洁净隧道
2016-06-14
洁净隧道(Clean Tunnel):以
HEPA
或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使
洁净度等级
提高至10级以上,可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
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