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洁净室架构说明

2016-06-13

1) 洁净室系采FFU (Fan Filter Unit) 系统，配合生产线各段功能及洁净度需求装设适当数量之FFU，Class 100 区域由高架地板回风、Class 1K 及Class 10K 区域由回风柱回风。天花板之隔间装设冷却盘管，以调节室内送风温度。
(2) 洁净室隔间采用防火一小时库板。
(3) 天花板采用重载型T-GRID 系统，T-GRID 框组尺寸为600mm x1200mm，未装设FFU 及灯具之空位，须放置盲板。 T-GRID 之十字接头，须设计可装设消防撒水头及火警感知器之预留孔及孔帽。
(4) Class 100 区域设高架地板，采用700kg 型之铝板，面贴塑胶地砖之平板及有冲孔之回风板。
(5) 洁净室之室内相对湿度系受外气空调箱控制，外气引入后，以空气过滤器过滤外气，以冷却盘管除湿或加湿器加湿至设计之室内露点温度，以热水盘管加热调温，并经HEPA Filter 过滤后，再送至洁净室回风层，以补充洁净室之排气及维持正压之空气。


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