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进入实验室人员资格具下列资格且经训练合格及主管核可后之人员得进入洁净室： NDL及半导体中心研究员及相关教授。 NDL及半导体中心技术人员及工作人员。 领有有识别证之学生及其它他研究单位之研究人员、工作人员。 进入实验室人员需遵守实验室之安全规定及国家安全卫生法令。 尚未被认可之学生、外宾及承揽商须进入洁净室者，应先报备申请领取临时证配于胸前，并应有合格人员陪同在场始得进入。 严禁转借他人之Card Key或夹带未经核准人员进入洁净室。 凡违反上述规定者将予以短期或永久禁止进入本实验室之惩处。 进入洁净室前之注意事项：学生、外宾及承揽商进入及离开实验室，需于大厅柜台做出入实验室登记。 任何人进入洁净室工作或参观，须依规定换穿无尘衣，并于胸前悬挂核可之识别证。 非经实验室主管许可不得将私人物品（手提袋、书籍等）及非洁净室所使用之工具携入洁净室；维修用之手册及工具在用毕后应立即收起。 原物料进洁净室时，需先在外面拆箱及拭净，并置于缓冲区30分钟方得携入洁净室。 实验室、办公区均为禁烟区，若有吸烟，须于抽后30分钟并嗽口后，方可进入洁净室。 剧烈运动后绝对禁止立刻进入洁净室，须待呼吸平稳不再流汗后方可进入洁净室。 在洁净室内，不得饮食、嘻闹，或从事其它与实验室无关的事情。 进入洁净室者应保持身体洁净，头发应常梳洗，并禁止使用香水及化妆品。 入实验室不得穿着短裤及拖鞋，并应穿着袜子。 进入class 10k洁净室之程序：踏上换鞋区入口之地板前，必须先将外鞋脱下。 将外鞋置于一般鞋之鞋柜之中。 进入换衣区换穿无尘衣。 依规定进入空气洗净室作空气浴： 1. 进入洁净室之前，必须先经过空气洗净室吹洗。 2. 空气洗净室内，不可超过6个人同时进入。 3. 为避免影响空气正常循环及除尘效果，人员不可倚靠在空气洗净室的门或墙上。 4. 人员必须站立于空气洗净室中央踏脚板上轻微摇动双手、双腿，以帮助灰尘掉落。 5. 风嘴方向正常应是向下吹气，请勿随意拨弄调整好的风嘴方向，以求达到最大的除尘效果。 进出Class 10洁净室时之注意事项： 进入Class 10洁净室应再换换穿Class 10专用之无尘衣。穿着无尘衣之规定为： 1. 头发必须盖在头罩之内，必要时可使用发罩。 2. 口、鼻必须盖在口罩之内：口罩使用后即应丢弃，不可重复使用。 3. 头罩下摆必须完全扎入无尘衣之衣领内。 4. 无尘衣穿着程序：(1)发罩 (2)口罩 (3)头罩 (4)无尘衣 (5)无尘鞋 (6)手套。 5. 当穿上无尘衣时，识别证必须挂在无尘衣外。 6. 穿戴手套之前须先确定正面，并作充气试验，确定无漏方可使用。 7. 手套穿戴后，手腕部份应藏于无尘衣袖内。 8. 进入Class 10洁净室前应再经过Class 10之空气洗净室，Class 10之空气洗净室每次至多2人进入。 脱无尘衣之注意事项： 1. 出洁净室后脱下手套洗手完毕才可开始脱无尘鞋、无尘衣。 2. 脱无尘衣程序：(1)手套 (2)鞋子 (3)衣服 (4)头罩 (5)发罩 (6)口罩。 实验室内之注意事项进入洁净室之罐装化学品或物品须先经清洗除尘之手续。 每次实验结束之后，药品、烧杯、芯片、晶舟等，务必物归原位，或做适当处理，Clean Hood 须清理干净。 不可以用指定用途的炉管或槽作其它用途的实验。 在洁净室中必须使用手套，并禁止抓头、抹脸或搓手，手套若有破损应即予换新。 严禁在设备上书写及刻划。 在洁净室必须使用洁净室专用纸笔。 避免在机器上使用胶带粘贴纸张。 当使用氮气枪时，必须低于工作桌之桌面，以免灰尘污染芯片。 不可正对芯片呼气及说话。 晶舟的操作： （1）晶舟平时应置于晶舟盒内，不可直接携带晶舟在clean room中走动，做实验。 （2）每一酸槽及炉管有其特定之晶舟，不得混着使用。 （3）各类晶舟应按规定定期清洗。 在洁净室内必须按规定穿好无尘衣，不可将衣袖卷起。 应避免非必要的物品留置于洁净室内，芯片、化学药品用完后应尽速移走。 金属及塑料镊子勿触及高温炉任何部份，以免污染高温炉。 勿触动别人的仪器、勿任意扳动任何开关。 勿将金属、有机物、非硅物质或指定之杂质气体放入高温炉，以免污染，若有特殊要求，应先征求主管或技术人员之意见。再采取措施防范污染，若已污染应告知技术人员处理，清洗或更换石英管。 禁止在洁净室内使用锉锯、砂布、及修正液 异常状况处理：在仪器设备发生异常状况（非紧急状况），请先与仪器设备之负责工程师研究员联络后再作处置。 遇有气体外泄，化学药品翻洒及火警等紧急状况请通知紧急应变指挥中心协助处理（Call 7762）。 前述应变处理，请参照本实验室紧急应变计划书内容。 废弃物处理：所有废弃物及用过之化学品应依规定之方式处理及倾倒。 随时保持整洁，勿将垃圾留给别人，棉花棒、废弃物勿随手丢，应置入垃圾桶内。 勿将酸及有机溶剂混合倾倒，以免爆炸。 各种酸碱废液需倒入指定之排放口，以便中和后排放。 有机溶剂分别倒入容器中储存，勿倒入排水系统中。 其它注意事项：非必要勿进入洁净室，可利用传递箱传递芯片及物品。 勿在洁净室内踏步来回走动。 非必要禁止停留在洁净区域内