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洁净室动转管理，可依作业人员，原物料、设备及洁净室内所用东西等加以探讨，并依计划（Planning）、实施（Doing）、追踪（Check-ing）、动作（Action）之PDCA循环步骤执行。
1.      作业人员之管理
前已提及在洁净室内污染来源80％来自作业人员，因此若能使作业人员依洁净室管理办法确实执行管理，而所有人员也均能配合实施，则污染源的产生可说已减少大半。现就进入洁净室的作业人员之管理和注意事项说明于下：
（1）        进入洁净室之人员，必须要具备有达成高净度标准，并要维持最好状态之观念。
（2）        作业人员进入洁净室数目以维持最小限度为原则（愈小愈好），并须依洁净室进出标准流程进出洁净室。出则相反方向进行，唯不须经空气洗尘之脱尘处理。
污染区域 
一次换鞋更衣 
 
 
头罩 
二次更衣室 
脚踏粘垫 
二次更衣换鞋 
戴口罩 
更换洁净衣、鞋 
洁净室 
洗手烘干 
空气洗尘室 
脚踏粘垫 
戴手套 


　洁净室人员进出流程
（3）        对作业人员必须经常讲解洁净室管理之资料，并加以教育与训练，内容如洁净室管理之一般常识、洁净室之构造与功能、维护和清洁、安全对策、搬动器材之洁净管理与检查、洁净衣之穿脱、洁净室内之步行方式等，并经考试合格者方能进入洁净室工作。
（4）        在洁净室作业人员须经常保持自己各方面的干净与清洁。
（5）        在洁净室内之作业人员或其它人员之移动或动作均为发尘源，其直接影响制程，同事亦会影响气流之扰动，为防止与控制上述情形，基本上须注意下列事项：①不可在作业区域气流之上方放置物品或做其它作业。②不必要之动作尽量避免以防止乱流及发尘。③与作业无关的私人谈话尽量避免。④为控制发尘量，人员步行及作业要静静地行。表8-2所示为人体在不同动作时之发尘量。⑤作业要在洁净之工作台或工作桌进行。⑥工具等器具须必入有盖子之箱子或柜中，并置放一定的场所。
人体不同动作之微尘产生数
粒子大小
衣服
 
动作 ≥0.3µ ≥0.5µ 
一般工作服 无尘服 普通作业衣 无尘服 
白衣形 全覆形 白衣形 全覆形 
站立（静姿） 54300 151000 13800 339000 113000 5580 
坐下（静姿） 44800 142000 14800 302000 112000 7420 
腕上下 4450000 463000 49000 2980000 298000 18600 
上身前屈 3920000 770000 39200 2240000 538000 24200 
腕的自由运动 3470000 572000 52100 2240000 298000 20600 
头上下左右 1230000 187000 22100 631000 151000 11000 
屈身 4160000 1110000 625000 3120000 605000 37400 
踏步 4240000 1210000 92100 2800000 861000 44600 
步行 5360000 1290000 157000 2920000 1010000 56000 


 
（6）        作业人员须经常保持干净之手，除了常洗手、剪指甲外，手并应保养，以预防皮屑之剥离，男性须每天刮胡子。
（7）        洁净衣要经常保持着衣之状态。
（8）        下列所述者不能进入洁净室：①非作业人员或事先示得许可者；②未照规定穿着洁净衣者；③刚做激烈运动流汗者；④吸烟或吃东西后，尚未经过半小时以上者，由图上很明显可看出吸烟者所后之微尘在初期约为非吸烟者的90倍，直至30分钟不准进入的原因所在。故针对在洁净室作业人员之招募。若能选择不吸烟者为对象，将可带来甚大利益。
（9）        如有下列健康状态或体质者原则上不能进入洁净室：①因日晒、湿诊而皮膏有问题；②对化学纤维或有机溶剂等化学药品有过敏性之体质者；③容易出汗者；④比一般人皮屑表皮容易剥离、头皮或体毛容易掉落者；⑤化妆或涂口红者；⑥有重大精神病、神经过敏或闭锁恐怖者；⑦因哮喘常咳嗽或喷啼者及不能安静工作者。但对于有下列性格的人，则最适宜进入洁净室工作：①做事细心而有耐性者；②勤于整理整顿，经常自己注意身边洁净的人；③经常留意自己之健康者。
（10）    以下之物品不能带进洁净室：①没有经过清洁进程之器材、零件备品、测定器等各种物品。②纸箱及未经特别处理之记录或笔记用纸、影印资料等。③铅笔、橡皮擦、墨水等。④香烟、化妆品、卫生纸、饮食品等。⑤作业员个人用品如打火机、宝石、装饰品、钱包、钥匙、手帕、小日记手册或其它个人物品等。
 
由于作业人员之行动而产生之污染之增加倍率
行动 周围之污染度增加倍率 
作业人员
4～5人同时聚集在一处时
通常之步行
静静地坐下
将手伸入层流式无尘操作台
层流式无尘操作台无作业
作业人员保护用衣服
（合成纤维制）：
刷工作衣之袖子时
无鞋套之状态踏地板时
鞋套后踏地板
由口袋取出手帕时
作业人员本身：
普通之呼吸状态
吸烟后之20分钟内吸烟者之呼吸
打喷啼
用手擦脸上皮屑  
1.5～3
1.2～2
1～1.2
1.01
无
 
1.5～3
10～50
1.5～3
3～10
 
无
2～5
5～20
1～2 


洁净室洁净度维持之最大控制对象为作业人员，因此对于作业人员之数目、行动状态、进出规则之制定与执行，提高洁净室内作业人员之洁净意识、反复教育，均为必须，表8-3所示为因作业人员之行动而产生污染的增加倍率。
2.      原物料、设备进出管理
除了人员进出洁净室须予以规范管理外，原物料及设备之进出也必须经过洁净程序，方不致于影响洁净室之洁净度。其进洁净室之流程如表8-4所示。至于搬出则反向而行，但不须经洁净程序。
 
原物料及设备搬运流程
原物料及设备 
移入电梯或移到制造楼层 
原物料设备清洁室 
去除外层包装 
初步外部清洁 
清洁原物料或设备表面 
去除内层包装 
移入制程区洁净室 


原物料及设备进出用洁净室为洁净室等级1000或10000级之房间，工作人员于其室内清洁设备或原物料时必须穿着洁净衣服，所使用之擦拭纸为无尘纸或不会脱落绒毛之无尘布，清洁剂除了使用超纯水之外，并加入3～5％浓度的IPA或丙酮化学品，以增强去污能力，由于IPA及丙酮具挥发性，故此房间之排气效果须特别考虑。搬迁设备时为免破坏地板支架及地板表面，必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板，作为输助。
3.洁净室内用品管理
净室内用品除了进出洁净室用的洁净衣、鞋、头罩、帽、手套、口罩外，尚有如纸张文具、桌子、椅子、芯片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、真空吸尘器等。
洁净衣之材料以洗后或使用其它处理后仍不会变质或发尘者为基本条件，且其布料为不易燃烧、不起毛，其织法或布料之组织不易通过污染物和不易附着污染物之材质，另外经过磨擦不产生静电或带电性非常小，洗涤再生容易、不易皱、着衣感舒适等亦为选用考虑因素。头罩材料为无尘纸（或无纤纸）制成，帽子材质则与洁净衣同，二者在空戴使用时，除了只露出眼睛或脸表面部份外，其它部分均须包覆，在颈部部份连接上衣处也必须完全盖住 ，不能留有空隙，头发亦不能露出来。洁净室用合脚且穿起来舒适为基本条件，容易洗涤，底则采用塑胶底，而质部分则采用与洁净衣相同材质即可，鞋子相同的布料外尚有薄橡胶或乙烯树脂，在使用过程中若有不舒适感或妨害手指之触感者则停止使用，手套表面有粉质时须去除或停用，原则上以使用无粉之Vinyl手套为佳。
洁净衣、靯、帽子等须由专人管理，并定期做清洗，清洗须在洁净室内进行，并以纯水配合清洁剂，并经约0.2mm之过滤器为之，一般洗涤周期视洁净度等级而定，在高洁净区为2-3天，其它区域则为5天-1星期，洗涤完毕干燥后应立即密封。洁净衣之置放所亦须为洁净室，备用品或新品存放在柜内，正使用者则吊挂衣架上，以为方便取用。
桌、椅一般以不锈钢，并须表面加工处理为之，若不得不使用木制品或镀锌品，其表面须施环氧树脂加工以防止表面发尘，工作桌最好有打洞，边缘取倒角，以利气流之一运动。椅子尽量采用没有背及脚踏板者，椅脚高度以坐下来脚可接触到地板者为原则，但若一定须用高脚椅时，则要准备脚踏环，桌及椅子之脚最好安装塑胶小轮子或套上橡胶套。
芯片盒为放置芯片之用，故材质以选择不易磨损、不发尘易清洁之材质如铁弗龙等，至于搬运车则以构造简单为原则，并忌使用折叠式，材质仍采用不锈钢为宜，车轮为耐磨性高之橡及轮胎，车轮轴承采用双密封式滚珠轴承。推送搬运佃时不得急速运推而以缓行为适。笔记本之纸质应采用无尘纸制成者，且不得使用影印资料，若非万不得己须使用，则须将文件放在透明之塑胶套内或加覆背，同时不可于室内撕破或净纸揉成一团，避免造成环境之污柒。如表8-5所示为不同纸张材质发尘量之比较。普通黑板及粉笔当然不能在高洁净室内使用，必要时可在更衣室等洁净室较低等级的区域使用白板。洁净室内不得放置洁净用具，垃圾桶宜使用塑胶制品或不锈钢，且置于维修区中的固定位置，桶须覆以盖子，以利管制，并定期清理。
真空吸尘器，共功能是在吸取洁净室内地板上、下及设备上的附着之尘粒或液体以防止这些尘料之再飞扬，以达到清洁的目的。由于真空吸尘器在作业时会有排气产生，若未经处理，将严惩影响洁净室之洁净度和气流，因而真空吸尘器在排气口均装有HEPA过滤器，以除去尘埃。唯现今之高级洁净室均设有中央式吸尘系统，并于现场预留吸气口，故一般之清洁过程均利用此中央系统，以减少使用真空吸尘器时的气流干扰。在使用中央式系统时，须注意排气量之控制，避免使洁净室内之压力降低至规定范围以下。至于真空吸尘器因属洁净室内专用，故不可移至洁净室外使用，若不用时应置放较低等级的洁净室中，且每次使用后应清扫吸管、收尘箱等吸气系统。
洁净室的运转管理，事先的拟订规则和执行方法固然重要，但执行过程中的缺失查核及督导改进更不可勉，此稽核责任一般均由品管部门执行，每天随时做查核动作，一发现缺失须立即告发，并要求改善，以期所有的运作均能依照洁净室的运转原则来实施。