注册 登录

关注微信公众号

手机打开微信
扫二维码关注

直接登录 注册
首页 > 技术知识 > 使用维护 > 电子生产车间的工艺设备和工器具的防污染管理

电子生产车间的工艺设备和工器具的防污染管理

2016-06-28
  
      以大规模集成电路生产用洁净室为例，生产工艺设备和工器具的防污染管理措施的较彻底的方法是实现生产过程自动化，不再采用手工操作方式运送硅片，不再用银子进行硅片的装送，以杜绝设备、工器具和人身带来的污染。同时，生产大规模集成电路随着硅圆片直径的不断增大，人工操作已不能适应工艺生产要求，所以全面实现自动化操作，已经不仅是改善生产环境空气洁净度的需要，面且与改善企业的经济利益密切相关了。由一种或数种生产工艺设备组成的微环辑加工区，将这些加工区按产品生产工艺要求进行组合形成产品生产流水线，在两个加工区的交接点上设置储料器，用来缓冲由于生产工艺设备生产速度不同、单片处理和分批处理的不同以及其 他原因造成的物流不平衡，设置储料器后，加工区之间的输送就成为储料器之间的输送，加 工区内的输送则为储抖器与生产工艺设备之间、生产工艺设备与生产工艺设备之间的传送。 洁净厂房设计时，应根据建筑平面与空间、人员通行与操作、生产设备的移动与维护以及公 用动力设施和管线等的实际情况，进行综合协调，选择不同的方式、不同的布置。

上一篇： 无尘室工作人员的培训
下一篇： 如何分析无尘室的污染源
免责声明：本站部分内容、观点、图片、文字、视频来自网络，仅供大家学习和交流，真实性、完整性、及时性本站 不作任何保证或承诺。如果本站有涉及侵犯您的版权、著作权、肖像权的内容，请联系我们(000-00000000),我们会立 即审核并处理。

热门招聘

更多>>

热门求职

更多>>