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无尘室认证内容及测试方法

2016-06-27

(1）为了保证洁净事或洁净区运行中始终符合要求，无尘室（区）认证检测的基本内容是空气洁净度等级、静压差和风速、风量的测定，在《洁净厂房设计规范》 GB 50073- 2001 中规定了各项测试的认证测试要求，见表 9-11，表9-12。

(2）洁净室检测认证的措商选择的测试内容。各行各业的产品生产工艺或洁净室的实际
使用情况的不同，在无尘室（区）认证检测时不是所有的检测项目都是必测的内容，应按具体沾净室的实际情况，由业主与专门认证单位协商确定，无尘室（区）洽商选择的测试要求见者 9-13。

对于有微振要求的无尘室（区），如集成电路生产用情净室，在洁净室工程技产运行时应进行徽振测试，在洁净室使用过程中是否进行检测、检测时间间隔多长，应根据实际运行情况确定．但当无尘室（区）内或周围环境的振动状况有变化时，则应即时进行检测

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