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洁净室耗材的回收和重复使用

2016-06-11

      通常,耗材成本和劳力开支控制着多数洁净室制造过程的经营成本。在半导体制造业里,特别是耗材成本加上很多耗资巨大但又迅速老化、需要频繁更新或替换的工艺设备成本,显然是最大的一笔费用。
 
      然而,耗材的费用有时也能够成为主要的开支甚至是占主导地位的,它是在制造产品过程中耗费的材料。在半导体制造业中,耗材包括超纯水、防静电胶盒、抹布和手套等。
 
       半导体洁净室制造厂的工人佩带手套,保护产品在操作中免受污染,同时也保护工人自己免于暴露在用于半导体工艺中的化学制品中。这些手套多是一次性的,用完一次后,就丢掉了。工人们每次带上一双新的手套,由于各种原因手套最终会被摘掉。工人们每次换班基本上要使用大约四双手套,全世界共有一百多万半导体工作者, 一次性的洁净室手套每年花费了大概十多亿美元。
 
      最常用的一次性洁净室手套由腈制成。腈聚合物包括三个成分: 丙烯腈、丁二烯和羟基酸。丙烯腈提供对烃油、脂肪和溶剂的抵抗力;丁二烯对成品手套提供类似橡胶的特性;羟基酸增加抗张强度和耐腐蚀、抗扯强度。
 
     半导体产业真正需要的是一种经济的实用的过程,转换使用过、被抛弃的洁净室腈手套,变成一种有用的副产物,或一个有价值的、可再利用的资源──对于手套的再利用的结果是半导体工作者收入的增加,以避免这些手套的浪费和垃圾填埋处置的花费。 使用被抛弃的手套作为原料,做新的丁腈手套是明显可行的,洗涤用过的手套再用。两种选择对降低成本都是很有用的。     
 
    使用过的手套经过无尘清洗后同样可再次使用于Class100或更低级别的无尘环境中,使用方法同新手套一样,不会对产品品质产生影响,但价格则比新手套便宜很多,大大节省了成本,且支持环保。
 
    重复利用耗材, 而不是抛弃它们, 提供了双赢的情形──这项产业在降低成本的同时为更加保护绿色环境提供了另一条途径。
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