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洁净室综合性能检测方法

2016-06-04

一、过滤器检漏(使用仪器:检漏仪和尘埃离子计数器)

  1.对于安装于送、排风末端的高效过滤器,应用扫描法进行过滤器安装边框和全断面检漏。扫描法有检漏仪法(光度计法)和采样量最小为1L/min的粒子计数器法两种。对于超高效过滤器,扫描法有凝结核计数器法和激光粒子计数器法两种。

  2.漏仪法检漏

  (1)被检漏过滤器必须已测过风量,在设计风速的80%~ 120%之间运行。

  (2)在同一送风面上安有多台过滤器时,在结构上允许的情况下,宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。

  (3)当几台或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时,为了对所有过滤器造成均匀混合,宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引入检漏用气溶胶,立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。

  (4)对于高效过滤器,当检漏仪表为对数刻度时,上风侧气溶胶浓度应超过仪表最小刻度的104倍;当检漏仪表为线性刻度时,上风侧气溶胶浓度需达到80~100μg/L。检漏仪表应具有0.001~100μg/L的测量范围。

  3.子计数器法检漏

  (1)被检过滤器必须已测过风量,在设计风速的80%~120%之间运行。

  (2)在被检高效过滤器上风侧测定大气尘的微粒数,以大于或等于0.5μm微粒为准,其浓度必须大于或等于3.5×104粒/L;若检测超高效过滤器,则以大于或等于0.1μm微粒为准,其浓度必须大于或等于3.5×106~3.5×107粒/L。

  (3)若上风侧浓度不符合上项规定,则应引入不经过滤的空气,如果还达不到规定,则不宜用粒子计数器法和凝结核计数器法检漏。

  4.漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2~3cm处,以5~20mm/s的速度移动,对被检过滤器整个断面、封头胶和安装
框架处进行扫描。

  三、静压差的检测(使用仪器:数字微压计等)

  1.静压差的测定应在所有的门关闭时进行,并应从平面上最里面的房间依次向外测定。

  2.对于洁净度高于100级的单向流(层流)洁净室,还应测定在门开启状态下,离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子
数。

  四、单向流(层流)洁净室截面平均风速、速度不均匀度的检测(使用仪器:热球风速仪和热式风速仪等)

  1.定截面、测点数和测定仪器应符合本附录二、3项的规定。

  2.定风速宜用测定架固定风速仪以避免人体干扰,不得不手持风速仪测定时,手臂应伸直至最长位置,使人体远离测头。

  五、室内洁净度的检测(使用仪器:尘埃离子计数器)

  1.定洁净度的最低限度采样点数按附表6.1的规定确定。每点采样次数不少于3次,各点采样次数可以不同。

  2.测定洁净度的最小采样量按附表6.2的规定确定。

  3.于单向流洁净室,采样口应对着气流方向,对于乱流洁净室,采样口宜向上。采样速度均应尽可能接近室内气流速度。

  4.净度测点布置原则是:

  (1)多于5点时可分层布置,但每层不少于5点;

  (2)5点或5点以下时可布置在离地0.8m高平面的对角线上(附图6.1),或该平面上的两个过滤器之间的地点,也可以在 认为需要布点的其他地方。

  注:室内洁净度的检测也可根据建设单位或设计的要求,按现行国家标准《洁净厂房设计规范》GBJ73附录二的规定执行。

  六、室内浮游菌和沉降菌的检测

  1.内浮游菌测点和洁净度测点可相同;采样必须按所用仪器说明书说明的步骤进行,特别要注意检测之前对仪器消毒灭菌。

  2.降菌测定时,培养皿应布置在有代表性的地点和气流扰动极小的地点,培养皿数可与按附表6.1确定的采样点数相同,但培养皿最少数量应满足附表6.3的规定。

  七、室内空气温度和相对湿度的检测(使用仪器:水银温度计和温湿度仪,以及温湿度自记仪等等)

  1.内空气温度和相对湿度测定之前,净化空调系统应已连续运行至少24h。对有恒温要求的场所,根据对温度和相对湿度波动范围的要求,测定宜连续进行8~48h,每次制定间隔不大于30min。

  2.据温度和相对湿度波动范围,应选择相应的具有足够精度的仪表进行测定。

  3.内测点一般布置在以下各处:

  (1)送、回风口处;

  (2)恒温工作区内具有代表性的地点(如沿着工艺设备周围布置或等距离布置);

  (3)室中心(没有恒温要求的系统,温、湿度只测此一点);

  (4)敏感元件处。

  所有测点宜在同一高度,离地面0.8m。也可以根据恒温区的大小,分别布置在离地不同高度的几个平面上。测点距外墙表面应大于0.5m。

  4.点数按附表6.4确定。

  八、室内噪声的检测

  1.噪声仪器为带倍频程分析仪的声级计。一般只测A声级的数值,必要时测倍频程声压级。

  2.点位置:宜按附图6.1的5点设置,面积在15m2以下者,可用室中心1点;测点高度距地面1.1m

  九、照度的检测

  1.内照度可用便携式照度计测定。

  2.内照度必须在室温已趋稳定、光源光输出趋于稳定(新安的日光灯必须已有100h、白炽灯已有10h的使用期;旧日光灯必须已点燃15min,旧白炽灯已点燃5min)后进行。

  3.净室照度只测定除特殊局部照明之外的一般照明。

  4.点平面离地面0.8m,按1~2m间距布置,测点距离墙面1m(小面积房间为0.5m)。

  十、室内微振的检测

  1.能满足检测精度要求的振动分析计测定。

  2.点选在室中心地面和认为有必要测定振动的位置的地面上,以及各壁板(装配式洁净室则为每一独立壁板)表面的中心处。

  3.分别测出室内全部净化空调设备正常运转和停止运转两种情况下X、Y、Z即长轴、横轴和垂直轴三个方向的振幅值, 特别注意测定同转动设备的转速相对应的频率下的振幅。

  十一、表面导静电性能的检测

  1.面、墙面和工作台面等表面导静电性能应用符合精度要求的高阻计检测。

  2.表面上选定的代表区域的两点间检测,可选用附图6.2的测试装置。

  附图6.2表面导静电性能测试装置

  (1)表面电阻;(2)泄漏电阻

  1�高阻计;2�试件;3�铜圆柱形电极,m;4�湿渍纸l=900mm;d=60mm;m=2kg

  十二、室内气流流型的检测

  1.测点布置:

  垂直单向流(层流)洁净室选择纵、横剖面各一个,以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各一个;水平单向流(层流)洁净室选择纵剖面和工作区高度水平面各一个,以及距送、回风墙面0.5m和房间中心处等3个横剖面,所有面上的测点间距均为0.2~1m。乱流洁净室选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各1个,剖面上测点间距为0.2m~0.5m,水平面上测点间距为0.5~1m。两个风口之间的中线上应有测点。

  2.测定方法:用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向,并在有测点布置的剖面图上标出流向。

  十四、自净时间的检测(使用仪器:尘埃离子计数器)

  1.本项测定必须在洁净室停止运行相当时间,室内含尘浓度已接近大气尘浓度时进行。如果要求很快测定,则可当时发烟。

  2.如果以大气尘浓度为基准,则先测出洁净室内浓度,立即开机运行,定时读数直到浓度达到最低限度为止,这一段时间即为自净时间。如果以人工(如发巴兰香烟)为基准,则将发烟器放在离地面1.8m以上的室中心点发烟1~2min即停止,待1min后,在工作区平面的中心点测定含尘浓度,然后开机,方法同上。

  3.测得的开机前原始浓度或发烟停止后1min的污染浓度(N0),室内达到稳定时的浓度(N),和实际换气次数(n)查附
图6.3,得到计算自净时间,再和实测自净时间进行对比。

 

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