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2. 单向流的洁净室以洁净室断面气流流速确定风量。平均风速值见下列表。
3. 非单向流洁净室以换气次数确定风量，换气次数值见下列表。
4. 洁净室工作区的气流流速应满足生产工艺和室内工作人员的健康的要求。
不同气流类型洁净室的风量
空气洁净度等级 | 气流流型 | 平均风速（m/s） | 换气次数（次/h） |
1～5 | 单向流或混合流 | 0.20～0.45 | — |
6 | 非单向流 | — | 50～60 |
7 | 非单向流 | — | 15～25 |
8～9 | 非单向流 | — | 10～15 |
5. 洁净室空调系统对新风量的要求
（1）补偿室内工艺所需的排风量和保持室内正压值所需的新风量之和；
（2）保证供给洁净室内每人每小时新风量不小于40m^3；
（3）上述两者的计算值取其最大值。
6. 洁净室压差控制
（1）洁净室与周围空间必须维持一定的压差，并按生产工艺要求维持正压差或负压差；
（2）洁净室维持不同等级的压差值所需要的风量，应根据洁净室的特点，宜采用缝隙法或换气次数法确定；
（3）送风机、回风机和排风系统的启闭应联锁正压洁净室内的联锁程序，为先启动送风机，再启动回风机和排风机；关闭时，联锁程序应相反。负压洁净室联锁程序与正压洁净室相反。
（4）为保证正压值不消失，非连续运行的洁净室可根据生产工艺要求，设置值班风机；
（5）余压阀也是控制洁净室压差的一种手段。
