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目的：为了确定无尘室内安装过滤器的气流速度。
仪器：风速仪
检测方法：参考标准（文件）: ISO 14644-3 (2005), B.4.2
1>.每块过滤器或风机单元组合分成2~4个测试区域。 “2英尺 X 4英尺”的过滤器分成2个测试区域；“4
英尺 X 4英尺”的过滤器分成4个测试区域。
2>.检测仪器安装 VelGrid 测试架。
3>.测试架放置到待测试区域的中间，其支撑脚轻轻接触过滤器出风面，保持测试架边缘与过滤器边缘平行，测试点到过滤器出风面的距离大约为15~30厘米。
4>.每一测试区域取一个稳定读数并记录。
判定标准：
过滤器国标统一验收标准，0.36~0.54m/s(米/秒），若过低则影响整个无尘室送风量，偏高一点无太
影响，但决不能偏低。否则失去意义，且尘粒测试很难通过。
2 过滤器泄漏检测 ( Installed filter system leakage test )
目的：确认过滤器系统安装良好或在使用过程中没有发生泄漏。
仪器：尘粒计数器 （配检漏探测头）
检漏扫描方法: 参考标准（文件）: ISO 14644-3 (2005), B.6.3;
1>.测试前确认过滤器已经通过风速检测。
2>.测试过滤器上游0.3um及更大粒径的尘粒浓度。
3>.检测取样头来回扫描移动速度大约为 1.5cm/s。
4>.检测取样头到过滤器出风面或过滤器框架的距离大约为3厘米。
5>.扫描应覆盖每块过滤器下风向整个表面，每个过滤器的周边、过滤器框与安装架构造之间的封条,包括其结合部。
判定标准：
在扫描时,如果显示出有等于或大于限值的泄漏,表现出规定的泄漏特征,则应把取样头停在泄漏处复测。如
显示出仍等于或大于限值的泄漏,可判定过滤器该处有泄露。如果没有观测到任何超过限值的泄露，则判
该过滤器无泄露。
3 静压检测 ( Air pressure difference )
目的： 验证无尘室系统在无尘室内维持规定的空气压差的能力。
仪器：静压表 （或万用风速仪压差档）
检测方法: 参考标准（文件）: ISO 14644-3 (2005), B.5
1>.在进行压差测试前，确定无尘室送风量和设施平衡已经在规定范围内。
2>.在整个测试期间所有进入无尘室及参考区域的门都关闭良好。
3>. 如果无尘室内被分割成不止一个封闭洁净区,则需测量最里面房间与最紧临房间之间的压差。
这种测量一直持续至测量出最后个封闭区与周围附属环境之间与室外环境之间的压差。
4>.测量并记录无尘室和临近房间的压差。
判定标准：
不同级别的无尘室之间，高级别的压差通常至少要比低级别大5Pa以上方可;
从无尘室直接向外的压差必须是无尘室内大于外部环境10Pa以上方可。
4 噪音检测 ( Sound pressure level )
目的：确定无尘室内由基本无尘室机械和电子系统产生的噪声水平。
仪器：声级计
检测要求及方法 ：参考标准（文件）--GBJ 122-88
1>.测试之前完成空调系统平衡调节。
2>. 测试前确定所有风机过滤器单元和空调系统设备在正常进行。
3>.将无尘室分成不大于40平方米的测试单元。
4>.测试仪放置在离地板1.2米高度，且感应器垂直向上。
5>.在每一个测试点测量并记录读数。
5 照度检测 ( Illuminance )
目的：确定无尘室内工作高度的照明强度。
仪器：照度计
检测方法: 参考标准（文件）--GB/T 5700 (2008)
1>. 测试之前所有荧光灯已累计点亮100小时。
2>.测试前所有荧光灯已连续点亮40分钟以使温度稳定。
3>.将无尘室分成 “3米 X 3米” 的测试单元。.
4>. 测试仪感应器朝上放置在每一个测试单元中间，在0.8米的高度。测点距离墙壁1.0米
判定标准：
根据国标要求常规室内工作环境照明度需在800~1200 Lux （ 勒克斯）。
6 防静电地板检测 (Floor static-dissipative property)
目的：验证无尘室防静电地板的静电消散性能满足规范控制要求的能力。
仪器：兆欧表
检测方法: 参考标准（文件）--ISO 14644-3 (2005), B.10.2.1.2.
1>.测试之前清洁电极和地板表面。
2>.对每一块待测地板，将接仪器正极的5磅电极放在测试点，接仪器负极的导线接工厂公共接
地端。按“测试”键测量地板接地电阻并记录测量结果。
3>.测量并记录环境温度、湿度。
判定标准：
一般新装的防静电地板初次测试规格要求2.5X104~2.5X106欧姆；
对于防静电要求不高的一般至少要≦1.0X109欧姆的最低标准，否则不能作为防静电地板使用。
7 温、湿度检测 (Temperature & Humidity)
目的：验证无尘室空调系统在无尘室内维持其空气温度、湿度在规定范围内的能力。
仪器：温湿度计（ 或 万用风速仪温湿度档）
检测方法: 参考标准（文件）-- ISO 14644-3 (2005), B.8 &B.9
1>.该测试应在空调系统运转及稳定至少1小时后进行。
2>.将无尘室分成不同的测试单元。测试单元的大小应按客户和供应商间的协商同意选定。
测试点应不少于两个。
3>.测试感应器应置于工作高度，且离天花、墙壁和地板的距离不少于300mm。
4>.测试感应器放置的位置选择应考虑热源存在的影响。
5>.测试时间应至少为5分钟，至少每分钟取一个读数并记录。
判定标准：
根据客户提供的无尘室设计的规格范围来判定。 比如中高端行业一般要求： 温度23+2oC,湿度45%~65%。
8 尘粒度检测 ( Airborne particle counts )
目的：测量无尘室尘粒浓度，并确定其与ISO 14644-3 (2005), B.1规范要求的符合性。
仪器：尘粒计数器
检测方法: 参考标准（文件）: ISO 14644-3 (2005), B.1
1>. 测试前确认影响无尘室或无尘区域运转完整性的所有部分都已完成并按设计性能规范运转。
2>.将无尘室划分成满足以下要求的不同测试单元：
最少测试点数量为：以平方米为单位的无尘室面积的平方根（入到整数）。
3>.取样头竖直向上放置。
4>.设置粒子计数器的取样速率为1立方英尺每分钟，取样时间为1分钟。
5>.在每个测试单元中间至少取一个样并记录相应读数，取样头离地板的高度为约0.8米。与客户协商
同意，记录0.5um和更大尺寸粒子浓度的读数。
9 判定标准：
进行此项测试时,无尘室内应保持空态或静态,即在完成其它相关测试和施工之后.不同级别环境对尘粒度控制规格不同: 指每立方英尺测试体积里,
注：空态测试结果=实测值X10%
