洁净室是半导体晶圆厂的心脏，所有晶圆的生产在其间完成，洁净室由两大部份组成一为洁净环境供应系统，一为高洁净度内装系统。 　　1.洁净环境供应系统　　此系统供应洁净室所需的无尘洁净空气，并精确控制 ...

  人体健康与空气质量关系十分密切，特别是在装修的新居，空气污染往往特别严重，存在着甲醛、氨、苯等有害气体和致癌物质。数据显示，室内空气的污染比室外严重2~3倍，而68%以上的疾病都是与此有关，对长时间居于 ...

       设计、施工和调试是保证净化空调系统正常运行的三个重要环节,对于净化空调系统的设计和施工不少书籍和文献已经作了专门的介绍,但对于净化空调系统的调试,以及调试中常常碰到哪些实际问题,资料相对贫乏 ...

对于洁净室的污染源主要指微尘和细菌二大类 　　2.1 外部污染源 　　2.1.1大气尘的浓度 　　大气尘是洁净室要直接处理的对象，在洁净技术中，最常用的是以≥0.5μm的微粒数量为准的计数浓度，以最干净的同温层（距 ...

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对于洁净室的污染源主要指微尘和细菌二大类 　　2.1 外部污染源 　　2.1.1大气尘的浓度 　　大气尘是洁净室要直接处理的对象，在洁净技术中，最常用的是以≥0.5μm的微粒数量为准的计数浓度，以最干净的同温层（距 ...

对于洁净室的污染源主要指微尘和细菌二大类 　　2.1 外部污染源 　　2.1.1大气尘的浓度 　　大气尘是洁净室要直接处理的对象，在洁净技术中，最常用的是以≥0.5μm的微粒数量为准的计数浓度，以最干净的同温层（距 ...