提要：微电子工业中的清洗是一个很广的概念，包括任何与去除污染物有关的工艺。通常是指在不破坏材料表面特性及电特性的前提下，有效地清除残留在材料上的微尘、金属离子及有机物杂质。目前已广泛应用的物理化学清洗 ...

静电发生器（Static Generator)主要是产生静电，输出通常是单一极性，如为正或负极性，输出电压可以调节，通常应用在科学研究，静电应用如静电除尘、静电喷涂、产生静电场用于生物效应研究以及其它要应用静电的场所 ...

一、超声波加湿器（即喷雾式） 采用超声波高频振荡，将水雾化为1～5微米的超微粒子，通过风动装置，将水雾扩散至空气中，从而达到均匀加湿空气的目的。但是，这种加湿器水质要求高。特别对于华北地区，由于水质 ...

摘 要 采用计算机流体力学（CFD）方法，模拟了在冷却顶板+置换通风联合空调系统（CC/DV）以及冷却顶板+混合风联合系统（CC/MV）两个模拟中室内的空气温度、速度和粒子的分布情况。通过对模拟结果进行讨论，分析了 ...

【提要】 提要：虽然技术、工艺和材料在不同的时期有不同的变化，但是有效的静电控制程序的设计与实施仍然是基于以下五个概念。 虽然技术、工艺和材料在不同的时期有不同的变化，但是有效的静电控制程序的设计与实 ...

【提要】 在洁净室中，人是决定微粒污染物产生的重要因素。洁净室内工作的人员都应当充分了解个人卫生习惯对洁净室洁净程度的影响有多大，这才是最重要的。本文接上篇继续介绍洁净室工作人员应遵循的规程，有关服装 ...

袋式除尘器一般根据含尘气体的性质、粉尘的性质及除尘器的清灰方式进行选择，选择时应遵循的原则 　　1、选择的原则 　　袋式除尘器一般根据含尘气体的性质、粉尘的性质及除尘器的清灰方式进行选择，选择时应遵 ...