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技术知识
洁净室的日常管理
一.人员管理:在各项维护管理工作中,对人员的管理最为重要,因为人是洁净室的主要尘源。国外在对洁净室工作人员的管理方面都有十分苛刻的规定,结合国内外的经验,应着重注意以下两点: 1.不准进入洁净室的 ...
使用维护
2016-06-03
超纯水污染对浸没式光刻技术的影响和净化
为满足消费者希望得到尺寸更小、速度更快、功能更强大电子产品的要求,半导体工艺设计师和芯片制造商采用光刻技术,通过缩小电路的线宽来提高芯片的容量。为了保持竞争力,制造商们计划从干式光刻转向使用超纯水(UP ...
综合技术
2016-06-03
洁净室控制污染的途径
洁净室控制污染的途径: 洁净室是空气洁净技术创造洁净微环境的最重要、最具有代表性的措施,洁净室原理则是设计、运行和维护好洁净室的理论基础。 洁净室就其控制对象来说,分工业洁净室和生物洁净室两大类。 ...
基本常识
2016-06-03
洁净室控制污染的途径
洁净室控制污染的途径: 洁净室是空气洁净技术创造洁净微环境的最重要、最具有代表性的措施,洁净室原理则是设计、运行和维护好洁净室的理论基础。 洁净室就其控制对象来说,分工业洁净室和生物洁净室两大类。 ...
综合设计
2016-06-03
超纯水污染对浸没式光刻技术的影响和净化
为满足消费者希望得到尺寸更小、速度更快、功能更强大电子产品的要求,半导体工艺设计师和芯片制造商采用光刻技术,通过缩小电路的线宽来提高芯片的容量。为了保持竞争力,制造商们计划从干式光刻转向使用超纯水(UP ...
综合技术
2016-06-03
光电光学行业无尘净化车间好环境要求
光电光学制品无尘车间一般适用于电子仪器仪表、计算机、半导体厂、汽车工业、航天工业、光刻、微机制造等行业,除了要空气洁净度以外,还要保证达到除静电的要求。下面以现代最为代表的LED行业为例,介绍光电光学行 ...
综合技术
2016-06-03
超纯水污染对浸没式光刻技术的影响和净化
为满足消费者希望得到尺寸更小、速度更快、功能更强大电子产品的要求,半导体工艺设计师和芯片制造商采用光刻技术,通过缩小电路的线宽来提高芯片的容量。为了保持竞争力,制造商们计划从干式光刻转向使用超纯水(UP ...
综合技术
2016-06-03
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