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洁净室等级相符性的评估和备用系数的采用

如果采用配置测试成果和95%置信上限自动处理软件的粒子计数器,不需人工运算,则上述统计方法和95%置信上限的计算并不怎么费时。否则便需一定时间运算和习惯。侧如在进行粒子浓度的实时控制和检查相当频繁的情况下就 ...

  

基本常识2016-06-14

无尘室气流的流动

无尘室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。
无尘室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的 ...

  

基本常识2016-06-14

无尘室之构成

无尘室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室:
(1)天花板系统:
  包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling gri ...

  

基本常识2016-06-14

无尘室要具有的五个特性

(l)耐久性;(2)成本; (3)适应性; (4)可维护性;(5)清洗 。
(1) 耐久性:
  无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性,同时也依赖无尘室等级来建造。半导体 Fabs ...

  

基本常识2016-06-14

什么是无尘室?

无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室,污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面,无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操 ...

  

基本常识2016-06-14

无尘室的具体分类

1.乱流式(Turbulent Flow):
  空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于无尘室等级1,000-1 ...

  

基本常识2016-06-14

无尘室按用途分类

(1)、工业无尘室——以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。 它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光 ...

  

基本常识2016-06-14

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